[發明專利]吸附裝置及處理裝置

有效

• 申請號: 201280035359.1
• 申請日: 2012-06-25
• 公開（公告）號: CN103717349A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 松島達郎
• 申請（專利權）人: 株式會社日本制鋼所
• 主分類號: B23Q3/08
• 分類號: B23Q3/08;B23K26/70;B23K37/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 茅翊忞

1.一種吸附裝置，其特征在于，

具備利用差壓來吸附被吸附體的吸附部，該吸附部被劃分成能夠各自獨立地實施吸附動作的多個吸附區域。

2.如權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，

各所述吸附區域與真空排氣線和氣體供給線連通地連接，并且在所述真空排氣線和所述氣體供給線上分別設置了開閉閥。

3.如權利要求2所述的吸附裝置，其特征在于，

所述吸附部在各吸附區域設置了多個吸附用的通氣孔。

4.如權利要求3所述的吸附裝置，其特征在于，

在各所述吸附區域設置有與多個所述通氣孔連通的分隔室部，

所述真空排氣線和所述氣體供給線經過多個所述通氣孔及所述分隔室部而與所述吸附區域連通地連接。

5.如權利要求1～4中任一項所述的吸附裝置，其特征在于，

所述吸附部設在吸附臺上，該吸附臺能拆卸地設置在基座上。

6.如權利要求5所述的吸附裝置，其特征在于，

所述基座具備利用差壓將所述吸附臺加以吸附并設置固定的吸附臺吸附部。

7.如權利要求1～6中任一項所述的吸附裝置，其特征在于，

所述被吸附體是膜狀材料。

8.如權利要求7所述的吸附裝置，其特征在于，

所述膜狀材料具有長帶形狀，其被沿著所述長帶的長度方向間歇地運送，并在所述吸附部上被吸附及解除吸附，

所述多個吸附區域沿著與所述運送方向正交的方向排列，且沿著所述運送方向配置。

9.一種處理裝置，其特征在于，具備：

權利要求1～8中任一項所述的吸附裝置；以及

對被吸附在所述吸附部的所述被吸附體實施規定的處理的處理部。

10.如權利要求9所述的處理裝置，其特征在于，

所述處理部是對所述被吸附體實施激光加工的激光加工部。