[發明專利]工作臺裝置以及工作臺控制系統

有效

• 申請號: 201280034884.1
• 申請日: 2012-02-28
• 公開（公告）號: CN103648714A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 小池晴彥;加來靖彥
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B23Q1/26
• 分類號: B23Q1/26;B23Q1/38;F16C32/06;H01L21/027;H01L21/68
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種工作臺裝置（3；3A；3B；3D；3E；3F；3G；3H），其使移動對象物移動到目標位置，其特征在于，該工作臺裝置具有：

導軌（12；12D；12E；12F），其具有引導面（12ua、12sa、19a；12ua、19a、12sa、19b；12ua、19a、19b；12Da、12Db、12Dc；19E1、19E2；19Fa、19Fb；19a、12da、12sa；12ua、12da、12sa、19a）；

滑塊（13、13D、13E、13F），其具有與所述引導面（12ua、12sa、19a；12ua、19a、12sa、19b；12ua、19a、19b；12Da、12Db、12Dc；19E1、19E2；19Fa、19Fb；19a、12da、12sa；12ua、12da、12sa、19a）相對的被引導面（20a、20b、21a；20a、21a、20b、21b；20a、21a、21b；13D1、13D2、13D3、13D4、13D5；21E1、21E2；21Fa、21Fb；21a、20a、20b；20a、20c、20b、21a），并被所述導軌（12；12D；12E；12F）限制移動方向；

驅動裝置（16；16E；16F），其產生所述滑塊（13、13D、13E、13F）的推力；以及

位置檢測裝置（17），其檢測所述滑塊（13、13D、13E、13F）的位置，

所述引導面（12ua、12sa、19a；12ua、19a、12sa、19b；12ua、19a、19b；12Da、12Db、12Dc；19E1、19E2；19Fa、19Fb；19a、12da、12sa；12ua、12da、12sa、19a）與所述被引導面（20a、20b、21a；20a、21a、20b、21b；20a、21a、21b；13D1、13D2、13D3、13D4、13D5；21E1、21E2；21Fa、21Fb；21a、20a、20b；20a、20c、20b、21a）之間的潤滑狀態被控制成在至少一部分區域中成為包含邊界潤滑和流體潤滑兩者的混合潤滑狀態，在其他區域中成為流體潤滑狀態。

2.根據權利要求1所述的工作臺裝置（3；3A；3B；3D；3E；3F；3G；3H），其特征在于，

所述滑塊（13、13D、13E、13F）在所述被引導面（20a、20b、21a；20a、21a、20b、21b；20a、21a、21b；13D1、13D2、13D3、13D4、13D5；21E1、21E2；21Fa、21Fb；21a、20a、20b；20a、20c、20b、21a）具有朝所述導軌（12；12D；12E；12F）的所述引導面（12ua、12sa、19a；12ua、19a、12sa、19b；12ua、19a、19b；12Da、12Db、12Dc；19E1、19E2；19Fa、19Fb；19a、12da、12sa；12ua、12da、12sa、19a）噴出壓縮空氣的多個壓縮空氣噴出孔（22d、22s、22u；22Da、22Db、22Dd、22Du；22Ed、22Es；22Fd、22Fs；22Gd、22Gs、22Gu；22Hd、22Hs、22Hu），

通過所述壓縮空氣的氣壓控制所述引導面（12ua、12sa、19a；12ua、19a、12sa、19b；12ua、19a、19b；12Da、12Db、12Dc；19E1、19E2；19Fa、19Fb；19a、12da、12sa；12ua、12da、12sa、19a）與所述被引導面（20a、20b、21a；20a、21a、20b、21b；20a、21a、21b；13D1、13D2、13D3、13D4、13D5；21E1、21E2；21Fa、21Fb；21a、20a、20b；20a、20c、20b、21a）之間的潤滑狀態。