[發(fā)明專利]提供有機(jī)抗蝕劑與銅或銅合金表面的粘附的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280033868.0
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103703164B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托馬斯·許爾斯曼;阿諾·科里克;德里克·特夫斯;米爾科·克洛普施;安德里·梁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 埃托特克德國(guó)有限公司
• 主分類號(hào): C23C22/52
• 分類號(hào): C23C22/52;H05K3/38;C23F1/18
• 代理公司: 11219 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 郭國(guó)清;穆德駿

1.提高有機(jī)抗蝕劑材料在銅或銅合金表面上的粘附的方法，所述方法包括以下步驟：

a．提供具有銅或銅合金表面的基底，

b．使所述表面接觸水性粘附增強(qiáng)溶液，所述水性粘附增強(qiáng)溶液包含：

i．至少一種有機(jī)酸，其選自羧酸、羥基羧酸、氨基羧酸和磺酸，和

ii．過(guò)氧化物化合物，

其中所述至少一種有機(jī)酸的濃度，或在多于一種有機(jī)酸的情況下所有有機(jī)酸的總濃度，是0.005至0.04摩爾/L，

其中所述磺酸的濃度為0.005至0.008摩爾/L，

其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液的pH值為1.8至5，

其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液不含N-雜環(huán)化合物，

其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液不含無(wú)機(jī)酸，

從而在銅或銅合金表面之上形成一種或多種氧化銅相的層，

和

c．使有機(jī)抗蝕劑材料附著至所述一種或多種氧化銅相的層上，

其中所述一種或多種氧化銅相的層的厚度為5至300nm，并且與下面的銅或銅合金層相比，所述一種或多種氧化銅相的層的RSAI值>50%，并且R_a值<150nm，所述值是用原子力顯微鏡確定的，并且在步驟b中移除最多0.1μm的銅或銅合金。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述羧酸為鏈烷羧酸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述氨基羧酸選自6-氨基己酸、甘氨酸和半胱氨酸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述磺酸選自鏈烷磺酸和芳族磺酸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液中的過(guò)氧化物化合物的濃度為0.01至2.5摩爾/L。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述過(guò)氧化物化合物為過(guò)氧化氫。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液還包含如下的水溶性聚合物，其選自聚乙二醇、聚丙二醇和上述聚合物的共聚物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液還包含尿素或尿素衍生物。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述一種或多種氧化銅相的層的厚度為10至60nm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中在步驟b中所述水性粘附增強(qiáng)溶液的溫度為20至50℃。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中在步驟b中所述基底與所述水性粘附增強(qiáng)溶液的接觸時(shí)間為至少5秒。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法，其中通過(guò)噴霧使所述基底與所述水性粘附增強(qiáng)溶液接觸。