[發(fā)明專利]提供有機(jī)抗蝕劑與銅或銅合金表面的粘附的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201280033868.0 | 申請(qǐng)日: | 2012-06-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103703164B | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-12-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 托馬斯·許爾斯曼;阿諾·科里克;德里克·特夫斯;米爾科·克洛普施;安德里·梁 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 埃托特克德國(guó)有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C22/52 | 分類號(hào): | C23C22/52;H05K3/38;C23F1/18 |
| 代理公司: | 11219 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 郭國(guó)清;穆德駿 |
| 地址: | 德國(guó)*** | 國(guó)省代碼: | 德國(guó);DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 提供 有機(jī) 抗蝕劑 銅合金 表面 粘附 方法 | ||
1.提高有機(jī)抗蝕劑材料在銅或銅合金表面上的粘附的方法,所述方法包括以下步驟:
a.提供具有銅或銅合金表面的基底,
b.使所述表面接觸水性粘附增強(qiáng)溶液,所述水性粘附增強(qiáng)溶液包含:
i.至少一種有機(jī)酸,其選自羧酸、羥基羧酸、氨基羧酸和磺酸,和
ii.過(guò)氧化物化合物,
其中所述至少一種有機(jī)酸的濃度,或在多于一種有機(jī)酸的情況下所有有機(jī)酸的總濃度,是0.005至0.04摩爾/L,
其中所述磺酸的濃度為0.005至0.008摩爾/L,
其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液的pH值為1.8至5,
其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液不含N-雜環(huán)化合物,
其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液不含無(wú)機(jī)酸,
從而在銅或銅合金表面之上形成一種或多種氧化銅相的層,
和
c.使有機(jī)抗蝕劑材料附著至所述一種或多種氧化銅相的層上,
其中所述一種或多種氧化銅相的層的厚度為5至300nm,并且與下面的銅或銅合金層相比,所述一種或多種氧化銅相的層的RSAI值>50%,并且Ra值<150nm,所述值是用原子力顯微鏡確定的,并且在步驟b中移除最多0.1μm的銅或銅合金。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述羧酸為鏈烷羧酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述氨基羧酸選自6-氨基己酸、甘氨酸和半胱氨酸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述磺酸選自鏈烷磺酸和芳族磺酸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液中的過(guò)氧化物化合物的濃度為0.01至2.5摩爾/L。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中所述過(guò)氧化物化合物為過(guò)氧化氫。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液還包含如下的水溶性聚合物,其選自聚乙二醇、聚丙二醇和上述聚合物的共聚物。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中所述水性粘附增強(qiáng)溶液還包含尿素或尿素衍生物。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中所述一種或多種氧化銅相的層的厚度為10至60nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中在步驟b中所述水性粘附增強(qiáng)溶液的溫度為20至50℃。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中在步驟b中所述基底與所述水性粘附增強(qiáng)溶液的接觸時(shí)間為至少5秒。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的方法,其中通過(guò)噴霧使所述基底與所述水性粘附增強(qiáng)溶液接觸。
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