[發明專利]用于雙腔室氣體放電激光器系統中的自動氣體優化的系統與方法

有效

• 申請號: 201280031885.0
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN103620891B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: K·M·奧布萊恩;J·J·索恩思;D·J·里格斯;江銳
• 申請（專利權）人: 西默有限公司
• 主分類號: H01S3/22
• 分類號: H01S3/22
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 王茂華

1.一種雙腔室氣體放電激光器光源，包括：

主振蕩器，具有包括含鹵素的激光介質氣體的激光腔室；

放大器，具有包括含鹵素的激光介質氣體的激光腔室；

氣體優化系統，包括控制器，所述控制器在所述放大器激光腔室內重新充填氣體之后自動地執行優化方案，所述優化方案包括：

第一序列，其中以第一速率和目標能量以連續模式來激發激光器同時測量放電電壓，且如果所述放電電壓低于預定最小值，將氣體從放大器腔室放出直到所述放電電壓等于或大于所述最小值；

第二序列，其中以第二速率和目標能量以連續模式來激發激光器同時測量放電電壓，且如果所述放電電壓低于預定最小值，將氣體從放大器腔室放出直到所述放電電壓等于或大于所述最小值；以及

第三序列，其中以目標能量以脈沖串來激發該激光器同時測量放電電壓和主振蕩器輸出能量，且如果所述放電電壓低于預定最小值、或所述輸出能量低于另一個預定最小值，將氣體從放大器腔室內放出直到所述放電電壓和輸出能量等于或大于各自的預定最小值。

2.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述鹵素包括氟。

3.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，計算在所述第一序列期間所述激光器被激發的速率從而導致功率輸出約為所述激光器的最大功率輸出的數個百分點。

4.如權利要求3所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述第二序列期間所述激光器被激發的速率約為在所述第一序列期間所述激光器被激發的速率的10倍。

5.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，計算在所述第三序列期間由所述激光器所激發的脈沖串以導致功率輸出約等于在正常操作期間所述激光器被預期生成的功率輸出。

6.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述優化方案還包括從所述放大器腔室中放出確定增量的氣體。

7.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述優化方案還包括在所述第一序列期間測量所述放大器腔室內的壓力，且如果所述壓力下降至低于預定值，則停止所述第一序列并開始所述第二序列。

8.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述優化方案還包括在所述第二序列期間測量所述放大器腔室內的壓力，且如果所述壓力下降至低于預定值，則停止所述第二序列并開始所述第三序列。

9.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述優化方案還包括在所述第三序列期間測量所述放大器腔室內的壓力，且如果所述壓力下降至低于預定值，則停止所述第三序列。

10.如權利要求1所述的雙腔室氣體放電激光器光源，其特征在于，所述優化方案還包括：如果在所述第三序列期間所述放電電壓大于預定最大值，則停止所述第三序列。

11.一種在具有主振蕩器和放大器的雙腔室氣體放電激光器光源的放大器激光腔室中自動優化氣體的方法，所述主振蕩器和放大器各自具有包括含鹵素的激光介質氣體的激光腔室，該方法包括如下步驟：

以第一速率和目標能量以連續模式激發激光器同時測量放電電壓，且如果所述放電電壓低于預定最小值，將氣體從放大器腔室放出直到所述放電電壓等于或大于所述最小值；

以第二速率和目標能量以連續模式激發激光器同時測量放電電壓，且如果所述放電電壓低于預定最小值，將氣體從放大器腔室放出直到所述放電電壓等于或大于所述最小值；且

以目標能量以脈沖串激發該激光器同時測量放電電壓和輸出能量，且如果所述放電電壓低于預定最小值、或所述出能量低于另一個預定最小值，將氣體從放大器腔室內放出直到所述放電電壓和輸出能量等于或大于各自的預定最小值。

12.如權利要求11所述的方法，其特征在于，所述鹵素包括氟。

13.如權利要求11所述的方法，其特征在于，計算在所述第一序列期間所述激光器被激發的速率從而導致功率輸出約為所述激光器的最大功率輸出的數個百分點。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，在所述第二序列期間所述激光器被激發的速率約為在所述第一序列期間所述激光器被激發的速率的10倍。