[發(fā)明專利]電動致動器和電動激振裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280029530.8
• 申請日: 2012-04-19
• 公開（公告）號: CN103609009B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發(fā)明（設計）人: 松本繁
• 申請（專利權(quán)）人: 國際計測器株式會社
• 主分類號: H02K33/12
• 分類號: H02K33/12;F16C29/06;G01M7/02;B06B1/04;F16F15/02;G01N3/32;G05D3/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發(fā)明涉及一種電動致動器和使用其的電動激振裝置。

背景技術

已知有將所謂音圈馬達作為驅(qū)動裝置使用的電動激振裝置。在專利文獻1中公開了使驅(qū)動軸朝向彼此正交的方向的三臺電動致動器200、300、400與振動臺100連結(jié)而成的三軸激振裝置1。在專利文獻1的激振裝置1中，各電動致動器的驅(qū)動軸經(jīng)由在與驅(qū)動軸正交的兩個軸方向上能夠平穩(wěn)地滑動的雙軸滑件（連接部240、340、440）與振動臺100連接。該雙軸滑件240（340、440）是將以可動軸彼此正交的方式配置的一對直線引導件經(jīng)由中間臺245（345、445）連結(jié)而成的。利用該結(jié)構(gòu)，各電動致動器能夠不被其它電動致動器的振動臺100的驅(qū)動所強烈影響（即，以比較少的互相干擾（cross?talk））地驅(qū)動振動臺100。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開WO2009/130953號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明想要解決的技術問題

但是，在專利文獻1的激振裝置1所使用的電動致動器200中，可動部230僅在從其胴體部232的一端向驅(qū)動方向突出的細長桿234的前端附近被支承于固定部222，所以可動部230的胴體部232，在與驅(qū)動軸正交的方向（不驅(qū)動方向）上不以高剛性被支承，在不驅(qū)動方向上容易發(fā)生振動。因此，由于向可動部230的不驅(qū)動方向的振動，產(chǎn)生驅(qū)動軸間的互相干擾，會有激振精度降低的情況。

本發(fā)明的目的在于提供可動部在不驅(qū)動方向上不易振動的電動致動器和通過使用該電動致動器而使激振精確度優(yōu)良的電動激振裝置。

本發(fā)明的實施方式的電動致動器，包括：大致筒狀的固定部；可動部，其至少一部分被收容于固定部的中空部內(nèi)，在固定部的軸線方向上被往復驅(qū)動；和以使可動部能夠在固定部的軸線方向上能往復移動的方式從側(cè)方對可動部進行支承的多個可動部支承機構(gòu)。可動部支承機構(gòu)包括：軌道，其被安裝于可動部的側(cè)面，在固定部的軸線方向上延伸；和滑塊，其被安裝于固定部，與軌道卡合，并且，可動部支承機構(gòu)大致等間隔地配置于以固定部的軸線為中心的周方向上。

利用該結(jié)構(gòu)，可動部被多個可動部支承機構(gòu)限制向不驅(qū)動方向的移動，所以在不驅(qū)動方向上不易振動。

可動部也可以構(gòu)成為由兩對可動部支承機構(gòu)在正交的兩個方向上從兩側(cè)夾持。

利用這些結(jié)構(gòu)，可動部在正交的兩個不驅(qū)動方向上分別被從兩側(cè)限制移動，所以在不驅(qū)動方向上不易振動。

電動致動器也可以以固定部的軸線朝向水平方向的方式被橫置，可動部支承機構(gòu)中的一個被配置于固定部的軸線之下。

利用該結(jié)構(gòu)，可動部被可動部支承機構(gòu)中的一個從下方支承，所以即使可動部的重量大，也能夠有效防止可動部的上下方向上的振動。

也可以構(gòu)成為可動部包括：桿，其從可動部的一端突出，在固定部的軸線上延伸，固定部包括：軸承，其以使桿在固定部的軸線方向上能自由移動的方式對桿進行支承。

利用該結(jié)構(gòu)，可動部由可動部支承機構(gòu)和軸承在驅(qū)動方向上的兩點限制不驅(qū)動方向上的移動，所以在不驅(qū)動方向上更不易振動。

也可以構(gòu)成為，包括：基座；和支承固定部的固定部支承機構(gòu)，固定部支承機構(gòu)包括：可動塊，其被安裝于電動致動器的固定部；直線引導件，其以在固定部的軸線方向上可自由滑動的方式對可動塊和基座進行連結(jié)；和緩沖部件，其被配置在基座和可動塊之間，防止軸線方向的振動的傳遞。緩沖部件例如為空氣彈簧。另外，也可以構(gòu)成為，包括：固定塊，其被固定于基座，直線引導件和防振部件的至少一方經(jīng)由固定塊被安裝于基座。

當電動致動器被驅(qū)動時，固定部由于反作用力而在軸線方向上強烈進行振動。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，固定部經(jīng)由固定部支承機構(gòu)的緩沖部件被固定于基座，所以能夠防止固定部的軸線方向的較強的振動傳遞至基座。若將這樣的電動致動器用于多軸激振機，則能夠降低激振軸間的互相干擾、不需要的振動干擾，能夠進行精度良好的激振試驗。

也可以構(gòu)成為包括一對可動塊，一對可動塊被安裝于夾著固定部的軸線的兩側(cè)面。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可動塊所接受的軸線方向的較強的反作用力，被一對固定部從軸線兩側(cè)對稱地支承，所以能夠抑制可動塊的縱搖、橫搖的產(chǎn)生。

本發(fā)明的實施方式的電動激振裝置，包括：上述電動致動器；和與電動致動器的可動部的前端連結(jié)的振動臺。

如上所述，提供一種電動激振裝置，其利用使用成為干擾主要原因的向不驅(qū)動方向的振動少的電動致動器，能夠進行精度高的激振。