[發(fā)明專利]烘干機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280024616.1
• 申請(qǐng)日: 2012-04-13
• 公開（公告）號(hào): CN103547874A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 漢斯.L.米拉格羅斯;丹尼爾.M.魯夫;理査德.L.斯特伯拉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 伊利諾斯工具制品有限公司
• 主分類號(hào): F26B3/30
• 分類號(hào): F26B3/30;F26B15/18;F26B21/00;F26B21/06
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 脫穎

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求2011年4月15日提交的美國臨時(shí)專利申請(qǐng)序列號(hào)61/475,821的優(yōu)先權(quán)，該申請(qǐng)通過引用并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及烘干機(jī)。特別的，本發(fā)明涉及用于硅片的烘干機(jī)。

背景技術(shù)

在生產(chǎn)過程中，許多產(chǎn)品出于各種原因都需要進(jìn)行熱處理，包括半導(dǎo)體晶片制造過程中的熱固化、將鋼鐵等產(chǎn)品材料進(jìn)行硬化的退火工序。熱處理過程通常是在極高的溫度下進(jìn)行的。包括用于對(duì)放在其上的部件進(jìn)行烘干的傳送帶的烘干機(jī)被廣泛地應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)。

這樣的申請(qǐng)包括將光伏電池的硅片上的傳導(dǎo)性金屬化膠融化或烘干的烘干機(jī)。這種烘干機(jī)典型地運(yùn)送傳送帶上的硅片使其經(jīng)過內(nèi)部具有紅外線（IR）加熱器的圍罩，并且如果有工藝空氣，則有非常少量的工藝空氣被引入烘干機(jī)圍罩及/或從烘干機(jī)圍罩流出。在這樣一些烘干機(jī)中，通過周圍的絕緣體或噴霧管將一些工藝空氣引入圍罩中。當(dāng)揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）從膠中蒸發(fā)時(shí)，包括空氣及來自圍罩內(nèi)部的蒸發(fā)的化合物的流體混合物在圍罩的入口及/或出口處通過排氣口被排出。這樣，工藝空氣對(duì)干燥過程不起什么作用，只不過充當(dāng)將蒸發(fā)的化合物從圍罩內(nèi)部去除的媒介或工具。

有的烘干機(jī)不使用紅外線加熱器，而是使用再循環(huán)的加壓氣流。然而，這種氣流通常是以低速引入到圍罩中，因此，不能有效地去除蒸發(fā)的化合物。由于再循環(huán)的加壓氣流被使用，蒸發(fā)的化合物的濃度最終達(dá)到了飽和點(diǎn)，在這個(gè)飽和點(diǎn)上可能無法排出蒸發(fā)的化合物。此外，蒸發(fā)的化合物在管道系統(tǒng)及系統(tǒng)的其他部件內(nèi)開始冷凝，然而這些管道系統(tǒng)及系統(tǒng)的其他部件需要頻繁停工檢修。

發(fā)明內(nèi)容

在烘干機(jī)的一個(gè)實(shí)施例中，包含第一和第二開口的圍罩包括用于運(yùn)送一個(gè)或多個(gè)部件使其經(jīng)過在第一和第二開口之間的圍罩的運(yùn)輸裝置。烘干機(jī)包括圍罩靠近第一開口的至少一部分中的一個(gè)或多個(gè)加熱元件，以及圍罩中的第一和第二導(dǎo)管。第一和所述第二導(dǎo)管均包括一個(gè)閉合端、一個(gè)入口和被配置用于朝向一個(gè)或多個(gè)部件排出空氣的多個(gè)開口。通過與第一和第二導(dǎo)管的入口流體連通的送風(fēng)機(jī)，第一和第二加熱器分別對(duì)供給到第一和第二導(dǎo)管的空氣進(jìn)行加熱。與圍罩內(nèi)部流體連通的排氣管包括用于從圍罩內(nèi)部排出流體的排風(fēng)機(jī)。

在一些烘干機(jī)實(shí)施例中，配置多個(gè)開口來以至少部分重疊的方式將空氣排放到運(yùn)輸裝置上的一個(gè)或多個(gè)部件表面上。在某些烘干機(jī)實(shí)施例中，圍罩內(nèi)部的溫度被維持為至少等于或高于運(yùn)輸裝置上的一個(gè)或多個(gè)部件上的一個(gè)或多個(gè)化合物中的每個(gè)的飽和溫度。在一些烘干機(jī)實(shí)施例中，送風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)協(xié)同進(jìn)行操作以在圍罩中產(chǎn)生負(fù)壓力，用于引導(dǎo)空氣滲透通過第一和第二開口。

一種操作（或使用）一個(gè)烘干機(jī)實(shí)施例的方法包括運(yùn)送一個(gè)或多個(gè)部件使其經(jīng)過在第一和第二開口之間的圍罩。一個(gè)或多個(gè)部件上面及/或里面的一個(gè)或多個(gè)化合物是通過加熱元件被蒸發(fā)掉的，及/或由第一和第二導(dǎo)管中的多個(gè)開口朝向一個(gè)或多個(gè)部件排放的加熱的空氣被蒸發(fā)掉的。圍罩內(nèi)的流體是用排風(fēng)機(jī)排出的。在某些實(shí)施例中，操作發(fā)熱元件、送風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)以將圍罩內(nèi)部的溫度維持為至少等于或高于運(yùn)輸裝置上的一個(gè)或多個(gè)部件上面及/或里面的一個(gè)或多個(gè)化合物中的每個(gè)的飽和溫度。在一些實(shí)施例中，送風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)以某種方式被操作以有助于通過在圍罩中產(chǎn)生負(fù)壓來引導(dǎo)空氣滲透通過第一和第二開口。

附圖說明

圖1示出依照本發(fā)明的實(shí)施例，沿著烘干機(jī)縱向范圍的剖視圖；

圖2示出從圖1所示的烘干機(jī)的內(nèi)部觀察的側(cè)面剖視圖；

圖3示出從圖1所示的烘干機(jī)內(nèi)部沿線3-3觀察的底部剖視圖；

圖4示出圖1所示的烘干機(jī)的側(cè)面圖；

圖5示出圖1所示的烘干機(jī)的端視圖；

圖6示出圖1所示的烘干機(jī)內(nèi)的流體流動(dòng)路徑；

圖7示出圖1示出的烘干機(jī)的一個(gè)實(shí)施例中的用于供應(yīng)加熱的空氣使其通過多個(gè)開口的導(dǎo)管的局部詳圖；和

圖8示出圖1所示的烘干機(jī)的一個(gè)實(shí)施例中的用于供應(yīng)加熱的空氣使其通過多個(gè)開口的導(dǎo)管的另一個(gè)局部詳圖。

具體實(shí)施方式

很多種實(shí)施例在此公開，還有其他一些實(shí)施例對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言也是顯而易見的。在下文中，參考附圖來詳細(xì)描述某些說明性和非限制性實(shí)施例，其中的相同元件是由相同的附圖標(biāo)記來標(biāo)示的。應(yīng)該很清楚的了解，沒有意圖、隱含的，或在其他方面以任何形式或方式對(duì)文中所述的發(fā)明進(jìn)行限制。同樣，所有替代的實(shí)施例被看作是在本發(fā)明披露的精神、范圍和意圖內(nèi)。本發(fā)明的公認(rèn)范圍是由附加要求及其任何等同物限定的。