[發明專利]噴嘴板制造

有效

• 申請號: 201280020331.0
• 申請日: 2012-04-17
• 公開（公告）號: CN103502012A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: P·范德斯路易斯;A·R·M·韋許爾雷恩;A·A·J·奧普特霍赫;J·H·拉莫斯
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種提高噴嘴板制造過程的成品率的方法，所述方法包括：

確定噴嘴板中的噴嘴的尺寸相對于所述噴嘴的預定的尺寸或尺寸范圍的變化，已經使用多個心軸來制造所述噴嘴板中的噴嘴，每個心軸限定所述噴嘴板中的相應噴嘴；以及

確定對所述多個心軸中的一個或多個心軸的尺寸的修改，以補償已確定的在所述噴嘴板中的噴嘴的尺寸的變化。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定修改的步驟包括：增大限定具有小于所述預定的尺寸或尺寸范圍的尺寸的噴嘴的心軸的尺寸，以及減小限定具有大于所述預定的尺寸或尺寸范圍的尺寸的噴嘴的心軸的尺寸。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述確定修改的步驟包括：將增大或減小所述心軸的尺寸的量確定為與所述噴嘴板中的相應噴嘴不同于所述噴嘴的預定的尺寸或尺寸范圍的量相對應的量。

4.根據權利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在噴嘴板制造過程中，使用掩模在基板上形成所述心軸，并且所述確定修改的步驟包括：確定對用于形成所述心軸的掩模的修改。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述確定修改的步驟包括確定對所述掩模的與有關心軸相對應的區域的修改。

6.根據任一前述權利要求所述的方法，其特征在于，所述確定所述噴嘴板中的噴嘴的尺寸的變化的步驟包括：

用光照射所述噴嘴板；

檢測穿過所述噴嘴板中的一個或多個噴嘴傳輸的光；以及

分析檢測到的光以確定所述一個或多個噴嘴的尺寸。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述檢測步驟包括：檢測穿過所述噴嘴板中的多個噴嘴傳輸的光，所述多個噴嘴分布在噴嘴板上，并且

其中所述分析檢測到的光的步驟包括：分析針對所述多個噴嘴中的每一個檢測的光，以確定在噴嘴板上的多個噴嘴的尺寸的變化。

8.根據任一前述權利要求所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括下述步驟：

使用在基板上的多個心軸來制造具有多個噴嘴的噴嘴板，所述多個心軸中的心軸具有在所述確定修改的步驟中確定的尺寸。

9.一種制造噴嘴板的方法，所述方法包括：

使用在基板上的多個心軸來制造具有多個噴嘴的噴嘴板，每個心軸限定所述噴嘴板中的相應噴嘴，所述多個心軸中的心軸具有不同的尺寸以補償制造過程中的局部變化，而所述局部變化將導致所述噴嘴板中的噴嘴的尺寸相對于預定的尺寸或尺寸范圍的局部變化。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述心軸具有較大的尺寸，以補償制造過程中將導致由此限定的噴嘴的尺寸小于所述預定的尺寸或尺寸范圍的局部變化，以及所述心軸具有較小的尺寸，以補償制造過程中將導致由此限定的噴嘴的尺寸大于所述預定的尺寸或尺寸范圍的局部變化。

11.根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，根據由此限定的噴嘴板中的相應噴嘴將不同于所述噴嘴的預定的尺寸或尺寸范圍的量來確定所述心軸的尺寸。

12.根據權利要求9、10或11所述的方法，其特征在于，所述制造噴嘴板的步驟包括圍繞所述心軸在基板上沉積材料，并且其中所述制造過程中的局部變化包括所述心軸周圍的材料的厚度的局部變化。

13.根據權利要求9-12中任一項所述的方法制造的噴嘴板。

14.一種用于提高噴嘴板制造過程的成品率的設備，所述設備包括：

用于確定所制造的噴嘴板中的噴嘴的尺寸相對于預定的尺寸或尺寸范圍的變化的裝置，已經使用多個心軸來制造所述噴嘴板中的噴嘴，每個心軸限定所述噴嘴板中的相應噴嘴；以及

用于確定對多個心軸中的一個或多個心軸的尺寸的修改以補償已確定的在所述噴嘴板中的噴嘴的尺寸的變化的裝置。