[發明專利]帶有多個探測器的可切換顯微鏡布置

有效

• 申請號: 201280017852.0
• 申請日: 2012-04-16
• 公開（公告）號: CN103459975B
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: R.烏爾;R.道姆;X.弗格勒
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01B9/04
• 分類號: G01B9/04;G02B21/18;G01N21/64
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬紅梅;胡莉莉

1.一種顯微鏡布置，包括：

顯微鏡，該顯微鏡包括：

用于輸出熒光信號的至少兩個光輸出端口，所述至少兩個光輸出端口包括第一光輸出端口和第二光輸出端口，以及

用于在所述光輸出端口之間切換熒光信號的切換布置；

分束器；

光學元件，該光學元件用于生成第一部分光束路徑和第二部分光束路徑，所述光學元件被布置為使得：

所述第一部分光束路徑與所述第一光輸出端口相關聯，

所述第二部分光束路徑與所述第二光輸出端口相關聯，

所述第一部分光束路徑和所述第二部分光束路徑在匯聚于分束器處之前彼此分離，以及

所述第一部分光束路徑和所述第二部分光束路徑的末端在該分束器處疊加；以及

至少兩個光學探測器，所述至少兩個光學探測器包括第一光學探測器和第二光學探測器，所述第一光學探測器和所述第二光學探測器被關于所述分束器布置，使得：

當所述熒光信號沿著所述第一部分光束路徑傳輸時，通過所述分束器的熒光信號的部分被所述第一光學探測器接收，由所述分束器反射的熒光信號的部分被所述第二光學探測器接收，以及

當所述熒光信號沿著所述第二部分光束路徑傳輸時，通過所述分束器的熒光信號的部分被所述第二光學探測器接收，由所述分束器反射的熒光信號的部分被所述第一光學探測器接收。

2.如權利要求1所述的顯微鏡布置，其中，該分束器包括顏色分離器。

3.如權利要求1或權利要求2所述的顯微鏡布置，其中，所述探測器中的至少一個包括攝影機。

4.如權利要求3所述的顯微鏡布置，其中，所述探測器中的至少一個被提供有雪崩光電二極管、光電倍增器或它們的陣列。

5.如權利要求1或權利要求2所述的顯微鏡布置，其中，該切換布置被配置成用于在所述光輸出端口之間手動切換，或者為機動的。

6.一種顯微鏡布置，包括：

顯微鏡，該顯微鏡具有至少一個用于輸出熒光信號的光輸出端口；

分束器；

光學元件，所述光學元件用于生成部分光束路徑，所述部分光束路徑包括第一部分光束路徑和第二部分光束路徑，所述光學元件被布置為使得所述部分光束路徑在所述顯微鏡與所述分束器之間彼此分離并且使得所述第一部分光束路徑和所述第二部分光束路徑的末端在該分束器處疊加；

切換布置，所述切換布置被配置為在所述部分光束路徑之間切換熒光信號；

至少兩個光學探測器，所述至少兩個光學探測器包括第一光學探測器和第二光學探測器，所述第一光學探測器和所述第二光學探測器被關于所述分束器布置，使得：

當所述熒光信號沿著所述第一部分光束路徑傳輸時，通過所述分束器的熒光信號的部分被所述第一光學探測器接收，由所述分束器反射的熒光信號的部分被所述第二光學探測器接收，以及

當所述熒光信號沿著所述第二部分光束路徑傳輸時，通過所述分束器的熒光信號的部分被所述第二光學探測器接收，由所述分束器反射的熒光信號的部分被所述第一光學探測器接收。

7.如權利要求6所述的顯微鏡布置，其中，該切換布置為機動的。

8.如權利要求7所述的顯微鏡布置，其中，該切換布置具有AOTF交換機、電光交換機或由電流計驅動的交換機。

9.如權利要求6-8中的任意一項所述的顯微鏡布置，其中，旋轉盤單元被整合到所述部分光束路徑之一內。

10.如權利要求6-8中的任意一項所述的顯微鏡布置，其中，所述部分光束路徑在長度方面大致相等，或者所述部分光束路徑中的至少一條具有用于補償所述部分光束路徑之間的長度的差值的布置。

11.如權利要求9所述的顯微鏡布置，其中，所述旋轉盤單元是尼普科夫掃描儀。