[發明專利]包括保護裝置的管狀靶材

在審

• 申請號: 201280017348.0
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN103518002A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 克里斯汀·林克;曼弗萊德·蘇利克;馬丁·卡特賴因
• 申請（專利權）人: 普蘭西歐洲股份公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;H01J37/34
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;張杰

1.一種用于陰極霧化的管狀靶材（1），其不具有背襯管并且由鉬或鉬含量至少為50at.%的鉬合金制成，所述管狀靶材包括濺射表面（2）以及至少在某些區域中與冷卻介質接觸的內表面（3），特征在于，所述內表面（3）中至少一個區域通過至少一個保護裝置（4）與所述冷卻介質隔開。

2.根據權利要求1所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）與所述內表面（3）處于區域性接觸。

3.根據權利要求1或2所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）的厚度為0.0005mm至1mm。

4.根據權利要求3所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）的厚度為0.0005mm至0.1mm。

5.根據權利要求1至4中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）是單層的或多層的層。

6.根據權利要求1至5中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）是一個膜。

7.根據權利要求1至6中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，與所述冷卻介質接觸的全部所述內表面通過至少一個保護裝置（4）與所述冷卻介質隔開。

8.根據權利要求1至7中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）至少由含有以下項的群組中的一種材料組成：聚合物、金屬、陶瓷和玻璃。

9.根據權利要求1至8中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）包括至少一種聚合物。

10.根據權利要求9所述的管狀靶材（1），特征在于，所述聚合物是導熱的和/或導電的。

11.根據權利要求9或10所述的管狀靶材（1），特征在于，所述聚合物具有一種填料。

12.根據權利要求11所述的管狀靶材（1），特征在于，所述填料包括由陶瓷、石墨和金屬組成的群組中的至少一種材料。

13.根據權利要求9至12中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述保護裝置（4）由至少一種聚合物組成。

14.根據權利要求9至13中一項所述的管狀靶材（1），特征在于，所述聚合物是由以下項組成的群組中的一種聚合物：環氧樹脂、聚乙烯、聚丙烯、聚亞安酯、聚氯乙烯、聚酯、乙烯基酯以及含氟彈性體。

15.一種用于生產根據權利要求1至14中一項所述的管狀靶材（1）的方法，特征在于，所述保護裝置（4）是通過由以下項組成的群組中的工藝而被引入的：膜的濕式涂布、噴涂和插入。