[發明專利]雜質擴散用涂布液

無效

• 申請號: 201280017009.2
• 申請日: 2012-05-18
• 公開（公告）號: CN103460346A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 佐藤弘章;勝間勝彥;加藤邦泰;堤由佳
• 申請（專利權）人: 日本合成化學工業株式會社
• 主分類號: H01L21/225
• 分類號: H01L21/225
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種雜質擴散用涂布液，其特征在于，其含有：聚乙烯醇系樹脂（A）、雜質（B）以及沸點為100℃以上的多元醇（C），該多元醇（C）的含量為涂布液中的70重量%以上。

2.根據權利要求1所述的雜質擴散用涂布液，其中，聚乙烯醇系樹脂（A）的皂化度為50摩爾%～90摩爾%。

3.根據權利要求1或2所述的雜質擴散用涂布液，其中，聚乙烯醇系樹脂（A）為含有5摩爾%～10摩爾%下述通式（1）表示的結構單元的聚乙烯醇系樹脂，

[化學式1]

式（1）中，R¹、R²和R³各自獨立地表示氫原子或有機基團，X表示單鍵或鍵合鏈，R⁴、R⁵和R⁶各自獨立地表示氫原子或有機基團。

4.根據權利要求1～3任一項所述的雜質擴散用涂布液，其中，雜質（B）為13族元素化合物與15族元素化合物的至少一種。

5.根據權利要求1～4任一項所述的雜質擴散用涂布液，其含有表面活性劑（D）。

6.根據權利要求1～5任一項所述的雜質擴散用涂布液，其含有無機微粒（E）。