[發(fā)明專利]等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280015195.6
• 申請(qǐng)日: 2012-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN103443327A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳定根;李光浩;李長(zhǎng)祐;金廷奎;辛鎮(zhèn)赫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: LG電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/513;C23C16/44
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 付永莉;鄭特強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施例涉及等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備，并更具體地涉及一種提供具有耐腐蝕性、親水性和抗菌功能的功能膜的設(shè)備和該設(shè)備的控制方法。

具體地，本發(fā)明的實(shí)施例涉及等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備及其控制方法。

背景技術(shù)

在工業(yè)上，對(duì)于使用具有特定功能的、形成在基材上的膜（即，功能膜）的需求日益增大。這是因?yàn)楣δ苣つ軌蜓a(bǔ)償基材缺乏的性能。例如，在換熱器的表面和車輛側(cè)鏡的表面可形成有具有預(yù)定功能（例如耐腐蝕性和親水性）的功能膜。作為這些示例中的一個(gè)，下面將描述空調(diào)的換熱器。

空調(diào)是具有控制預(yù)定房間的期望溫度和濕度的功能的電器。這樣的空調(diào)典型地使用制冷循環(huán)，該制冷循環(huán)包括壓縮機(jī)、蒸發(fā)器、膨脹閥和冷凝器。蒸發(fā)器和冷凝器是換熱器的類型，它們包括使制冷劑能夠在其中流動(dòng)的管和安裝在桶中的散熱片。換言之，蒸發(fā)器與冷凝器中流動(dòng)的制冷劑與周圍空氣熱交換。蒸發(fā)器在蒸發(fā)制冷劑時(shí)可吸收熱量，冷凝器在冷凝制冷劑時(shí)可發(fā)出熱量。

然而，當(dāng)換熱器的表面溫度低于露點(diǎn)時(shí)，空氣被冷凝并在換熱器的表面生成水滴。如果水滴生成嚴(yán)重，則水滴被凍結(jié)而變成霜。換熱器的表面上產(chǎn)生的水滴和/或霜可能造成若干問題。例如，水滴和/或霜可能減小換熱面積，由此使換熱器的換熱性能惡化。而且，水滴和/或霜可能產(chǎn)生一種流阻，從而增大用來對(duì)換熱器產(chǎn)生空氣流動(dòng)的風(fēng)扇所需的電源。因此，優(yōu)選地，水滴等物不會(huì)在換熱器的表面上冷凝。為解決該問題，試圖使換熱器的表面具有親水性，從而造成冷凝水滴沿?fù)Q熱器的表面向下流動(dòng)。

同時(shí)，換熱器、尤其是安裝在空調(diào)的室外單元中的換熱器直接暴露于外部，由此隨著時(shí)間的推移可能出現(xiàn)腐蝕。當(dāng)換熱器被安裝在含鹽的環(huán)境中（例如靠近海岸）時(shí)，這樣的現(xiàn)象可能會(huì)嚴(yán)重。因此，建議在換熱器的表面上施加耐腐蝕性的涂層。

另外，隨著使用時(shí)間的推移，可能產(chǎn)生寄居于換熱器的表面的真菌和細(xì)菌以及難聞的氣味，這會(huì)出現(xiàn)衛(wèi)生的問題。然而，換熱器典型地安裝在室內(nèi)單元或室外單元中，所以不易清潔換熱器。因此，已經(jīng)建議在換熱器的表面應(yīng)設(shè)置抗細(xì)菌/抗真菌（在下文中，抗菌）涂層。

同時(shí)，如下將描述具有通過使用傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式沉積來形成功能膜的設(shè)備及其控制方法。

首先，在清潔室清潔基材。此后，經(jīng)清潔的基材在等離子體反應(yīng)室中進(jìn)行等離子體反應(yīng)沉積，產(chǎn)生功能膜。其中形成有功能膜的基材在清潔室中被再次清潔。換言之，根據(jù)傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式沉積，預(yù)清潔、功能膜沉積和后清潔在不同的室中執(zhí)行。此外，當(dāng)形成功能膜時(shí)，耐腐蝕層、親水膜和抗菌膜分別在不同室形成。因此，傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式沉積必須包括獨(dú)立的室以執(zhí)行各個(gè)過程，并且每個(gè)過程可在各種不同的室中獨(dú)立地執(zhí)行。因此，形成功能層的設(shè)備和控制方法的缺點(diǎn)是很復(fù)雜。

而且，使用傳統(tǒng)的功能膜形成技術(shù)的傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式沉積建議在制成產(chǎn)品之前在原料上形成功能膜。換言之，建議應(yīng)在形成有功能膜的片形材被加工而制成換熱器的散熱片之前，在該片形材的表面上形成功能膜。

然而，這樣具有一個(gè)問題，即不能制造在其所有部件上形成功能膜的產(chǎn)品。而且，在從原料加工的區(qū)域上不形成功能膜，例如前截面，使得在前截面可能局部產(chǎn)生腐蝕。因此，產(chǎn)品的可靠性會(huì)下降。

為解決該問題，韓國(guó)專利10-2003-0078455公開了一種等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備，用以在產(chǎn)品自身上形成功能膜。

在傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備，產(chǎn)品被運(yùn)送到載體以形成功能層。電力經(jīng)由接觸一對(duì)滾軸的載體供應(yīng)到產(chǎn)品。因此，供電十分復(fù)雜并且電力經(jīng)由滾軸供應(yīng)，使得供電的可靠性可能不利地下降。而且，在載體上形成功能膜，效率可能不利地下降。

此外，產(chǎn)品、即換熱器在被懸置于載體上時(shí)進(jìn)行傳送。因此，傳送結(jié)構(gòu)復(fù)雜，電力未能在載體與換熱器之間穩(wěn)定地供應(yīng)，這可能引發(fā)問題。

必須在換熱器中形成單個(gè)電連接觸點(diǎn)，而且無法在該換熱器中整個(gè)地形成均勻的功能膜。

同時(shí)，在傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，可能不容易裝載和卸載換熱器。因此，工作過程的效率低下，并且可能難以安裝并移走載體。

而且，工人難以將換熱器組裝到載體以及從載體拆下?lián)Q熱器，難以在各種不同的換熱器上形成功能膜。同時(shí)，工人必須操作載體以及換熱器，工作過程可能非常困難。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

因此，本發(fā)明的實(shí)施例涉及等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其控制方法。為解決上述問題，本發(fā)明的實(shí)施例的目的是提供一種包括簡(jiǎn)單高效的功能層的設(shè)備以及控制該設(shè)備的方法。