[發(fā)明專利]成膜裝置、成膜方法、有機發(fā)光元件的制造方法和有機發(fā)光元件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280014151.1
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN103429783A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設計）人: 小野裕司;林輝幸;桑田拓岳;森田治
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/24;H01L51/50
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種成膜裝置，其包括：對被處理基板進行成膜的處理室；和將成膜材料的蒸氣向所述被處理基板噴出的多個蒸氣供給部，該成膜裝置的特征在于：

將多個蒸氣供給部配置在規(guī)定的位置，將多種成膜材料在控制了成膜方向的混合比例的狀態(tài)下向所述被處理基板噴出。

2.如權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于：

具有使蒸氣供給部中的至少一個移動的蒸氣供給部移動單元，利用該蒸氣供給部移動單元將多個蒸氣供給部配置在規(guī)定的位置。

3.如權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于：

具有噴出蒸氣的多個噴出孔的噴嘴以向所述處理室的中央部突出的狀態(tài)在各蒸氣供給部分別排列設置有多個，

各蒸氣供給部的各噴嘴能夠大致在一條直線上排列。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的成膜裝置，其特征在于，包括：

有機蒸氣產(chǎn)生部，其設置于所述處理室的外部，產(chǎn)生有機成膜材料的蒸氣；

有機蒸氣供給部，其將由該有機蒸氣產(chǎn)生部產(chǎn)生的有機成膜材料的蒸氣向該被處理基板噴出；和

無機蒸氣供給部，其將無機成膜材料的蒸氣向所述被處理基板噴出。

5.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

包括多個有機蒸氣產(chǎn)生部和多個有機蒸氣供給部，

所述有機蒸氣產(chǎn)生部設置于所述處理室的外部，產(chǎn)生有機成膜材料的蒸氣，

所述有機蒸氣供給部將由該有機蒸氣產(chǎn)生部產(chǎn)生的有機成膜材料的蒸氣向該被處理基板噴出。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

包括使所述被處理基板在所述處理室內(nèi)移動的單元，

所述蒸氣供給部移動單元使蒸氣供給部中的至少一個在與所述被處理基板的移動方向大致一致的方向上移動。

7.如權(quán)利要求1～6中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

所述蒸氣供給部移動單元使蒸氣供給部中的至少一個在與成膜方向大致一致的方向上移動。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的成膜裝置，其特征在于：

包括蒸氣供給部旋轉(zhuǎn)單元，其使蒸氣供給部中的至少一個在θ方向上旋轉(zhuǎn)。

9.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于：

所述蒸氣供給部移動單元使所述無機蒸氣供給部移動。

10.一種成膜方法，其將被處理基板收納在處理室內(nèi)，通過向被收納的該被處理基板供給多種成膜材料的蒸氣進行成膜，該成膜方法的特征在于：

包括共蒸鍍層形成工序，其控制所述處理室內(nèi)多種成膜材料的蒸氣的噴出位置，在控制了成膜方向的混合比例的狀態(tài)下向所述被處理基板噴出，形成共蒸鍍層。

11.如權(quán)利要求10所述的成膜方法，其特征在于：

包括在所述處理室的外部產(chǎn)生有機成膜材料的蒸氣的工序，

所述共蒸鍍層形成工序?qū)⒃谒鎏幚硎业耐獠慨a(chǎn)生的有機成膜材料的蒸氣和無機成膜材料的蒸氣分別向所述被處理基板噴出，形成共蒸鍍層。

12.一種有機發(fā)光元件的制造方法，該有機發(fā)光元件在基板上設置有陽極、發(fā)光層和陰極，該有機發(fā)光元件的制造方法的特征在于：

包括利用權(quán)利要求10所述的成膜方法，在所述發(fā)光層與陰極之間，形成所述共蒸鍍層的工序。

13.一種有機發(fā)光元件的制造方法，該有機發(fā)光元件在基板上設置有陽極、發(fā)光層和陰極，該有機發(fā)光元件的制造方法的特征在于：

包括利用權(quán)利要求11所述的成膜方法，在所述發(fā)光層與陰極之間，形成所述共蒸鍍層的工序，

所述無機成膜材料是選自Li、Na、K、Ca、Cs和Ba中的金屬。

14.一種有機發(fā)光元件，其特征在于：

具有共蒸鍍層，該共蒸鍍層由多種成膜材料構(gòu)成，在膜厚方向上具有所述多種成膜材料的規(guī)定的濃度分布。

15.如權(quán)利要求14所述的有機發(fā)光元件，其特征在于：

所述多種成膜材料包括有機成膜材料和無機成膜材料。