[發(fā)明專(zhuān)利]用于通過(guò)利用氣態(tài)熔劑介質(zhì)激光焊接對(duì)兩個(gè)襯底的連接面進(jìn)行電接觸的方法和設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280007342.5
• 申請(qǐng)日: 2012-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103477424A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 加西姆·阿茲達(dá)什
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 派克泰克封裝技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/60
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/60;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;田軍鋒

1.一種用于使兩個(gè)襯底（6、7）的連接面進(jìn)行電接觸的方法，其中第一襯底（6）借助于其朝向第二襯底（7）的所述連接面直接與所述第二襯底（7）的所述連接面電連接和機(jī)械連接，并且所述第一襯底（6）的所述連接面設(shè)有焊劑涂層（10），并且其中，方法過(guò)程以兩個(gè)連續(xù)的階段進(jìn)行，所述方法過(guò)程具有第一階段，其中，

-將所述第一襯底（6）借助于其連接面相對(duì)于所述第二襯底（7）的所述連接面定位，并且

-用激光能（5）從背面加載所述第一襯底（6），使得焊劑（10）至少熔融到能夠?qū)⑺龅谝灰r底（6）機(jī)械地固定在所述第二襯底（7）上，以及實(shí)現(xiàn)彼此相向的所述連接面的電接觸；

并且具有第二階段，其中

-在殼體內(nèi)腔中實(shí)現(xiàn)用熔劑介質(zhì)加載由所述襯底（6、7）構(gòu)成的器件裝置，

-同時(shí)通過(guò)用激光能（5）從背面加載所述第一襯底（6）來(lái)實(shí)現(xiàn)所述焊料（10）的再次熔融，并且

-緊接著實(shí)施所述殼體內(nèi)腔的吹掃過(guò)程。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述熔劑介質(zhì)具有氣態(tài)狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，

其特征在于，

所述氣態(tài)的熔劑介質(zhì)由氮?dú)?甲酸混合物構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，

其特征在于，

為了在所述殼體內(nèi)腔之外形成氣態(tài)的所述熔劑介質(zhì)，將氮?dú)饬髟诩姿岢氐谋砻嬷弦龑?dǎo)，以至于在加載所述器件裝置之前，所夾帶的甲酸蒸汽與所述氮?dú)饣旌稀?!-- SIPO -->

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的方法，

其特征在于，

借助于純的保護(hù)氣體流實(shí)施所述吹掃過(guò)程。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，

其特征在于，

所述純的保護(hù)氣體流是氮?dú)饬鳌?/p>

7.一種用于實(shí)施根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法的第二階段的設(shè)備，所述設(shè)備具有：用于支承由所述襯底（6、7）構(gòu)成的器件裝置的載體臺(tái)（1）；包圍所述器件裝置并且與所述載體臺(tái)（1）的上側(cè)共同形成殼體內(nèi)腔的殼體（3），所述器件裝置定位在所述殼體內(nèi)腔中；以及激光光源（5），所述激光光源定向?yàn)椋沟眉す馐鴱谋硞?cè)射到所述第一襯底（6）上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述殼體（3）相對(duì)于所述載體臺(tái)（1）的所述上側(cè)設(shè)有環(huán)形的密封件（2）。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述殼體（3）具有能夠?qū)崿F(xiàn)使所述殼體內(nèi)腔被熔劑介質(zhì)或吹掃介質(zhì)穿流的入流口（8）和出流口（9）。

10.根據(jù)權(quán)利要求7至9之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述殼體（3）的基本上平行于所述第一襯底（6）的背側(cè)設(shè)置的殼體壁（4）構(gòu)成為透明的板（4），以便能夠?qū)崿F(xiàn)用激光能（5）從背面加載所述第一襯底（6）。