[發明專利]致動器支承結構及泵裝置有效
| 申請號： | 201280003193.5 | 申請日： | 2012-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN103140674A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 平田篤彥;兒玉幸治;大森健太 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | F04B9/00 | 分類號： | F04B9/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 侯穎媖 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 致動器 支承 結構 裝置 | ||
1.一種致動器支承結構，其特征在于，包括：
致動器，該致動器從主面的中心部到外周部進行彎曲振動，并呈板狀；
側壁，該側壁圍住所述致動器的外周的外側；以及
彈性支承部，該彈性支承部使所述致動器的外周彈性支承在所述側壁上，
所述彈性支承部包括梁部、致動器連結部、及側壁連結部而構成，其中，
該梁部在所述致動器與所述側壁之間的間隙中在沿著所述致動器的外周的方向上延伸，
該致動器連結部將所述梁部與所述致動器相連結，
該側壁連結部在沿著所述致動器的外周的方向上設置在偏離所述致動器連結部的位置上，并將所述梁部與所述側壁相連結。
2.一種泵裝置，其特征在于，包括：
致動器，該致動器從主面的中心到外周進行彎曲振動，并呈板狀；
殼體，該殼體通過設置側壁和相對壁而構成，其中，該側壁圍住所述致動器的外周的外側，該相對壁與所述致動器的主面接近地相對；以及
彈性支承部，該彈性支承部使所述致動器的外周彈性支承在所述側壁上，
所述彈性支承部包括梁部、致動器連結部、及側壁連結部而構成，其中，該梁部在所述致動器與所述側壁之間的間隙中在沿著所述致動器的外周的方向上延伸，該致動器連結部將所述梁部與所述致動器相連結，該側壁連結部在沿著所述致動器的外周的方向上設置在偏離所述致動器連結部的位置上，并將所述梁部與所述側壁相連結，
所述相對壁通過在與所述致動器相對的區域的中心或中心附近設置供流體流入的流路孔而構成。
3.如權利要求2所述的泵裝置，其特征在于，
所述梁部構成為在將所述側壁連結部作為固定部時的固有振動的波腹附近的位置上經由所述致動器連結部與所述致動器相連結，所述固有振動的固有振動頻率與所述致動器的固有振動頻率相一致。
4.如權利要求3所述的泵裝置，其特征在于，
兩個所述側壁連結部與所述梁部的兩端相連結，
所述致動器連結部與所述梁部的兩端間的中央相連結。
5.如權利要求3或權利要求4所述的泵裝置，其特征在于，
所述梁部伴隨所述致動器的彎曲振動而進行的振動是一階諧振模態的振動。
6.如權利要求2至5的任一項所述的泵裝置，其特征在于，
所述致動器呈圓板狀。
7.如權利要求2至6的任一項所述的泵裝置，其特征在于，所述相對壁包括設置在所述流路孔的外周的能彎曲振動的薄壁部、以及設置在所述薄壁部的外周的厚壁部。
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