[發明專利]壓電驅動元件和壓電驅動裝置

有效

• 申請號: 201280002904.7
• 申請日: 2012-04-18
• 公開（公告）號: CN103119740A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 土信田豐
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/18
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;季向岡

1.一種壓電驅動元件，其特征在于，包括：

復合陶瓷，其是復合具有振動速度增加時彈性常數減小的彈簧特性的第一壓電體陶瓷和具有振動速度增加時彈性常數增大的彈簧特性的第二壓電體陶瓷而成的；和

外部電極，其以隔著該復合陶瓷相對置的方式，設置于該復合陶瓷的側面，其中，

對所述外部電極施加諧振頻率和諧振頻率附近的交流電場進行驅動。

2.如權利要求1所述的壓電驅動元件，其特征在于：

所述復合陶瓷具有混合所述第一壓電體陶瓷和所述第二壓電體陶瓷得到的結構，或者具有將所述第一壓電體陶瓷和所述第二壓電體陶瓷堆疊為層狀的結構。

3.如權利要求2所述的壓電驅動元件，其特征在于：

所述復合陶瓷具有將所述第一壓電體陶瓷和所述第二壓電體陶瓷以平面狀、卷狀、同心圓狀中的任何形態堆疊為層狀的結構。

4.如權利要求1～3中任一項所述的壓電驅動元件，其特征在于：

在所述復合陶瓷的內部，設置有與所述相對置的外部電極各自連接的多個內部電極，而形成疊層結構。

5.如權利要求1～4中任一項所述的壓電驅動元件，其特征在于：

根據所述第一壓電體陶瓷和所述第二壓電體陶瓷的體積分率，調整所述復合陶瓷的彈性常數，抑制諧振頻率相對于振動速度變化的變動。

6.如權利要求1～5中任一項所述的壓電驅動元件，其特征在于：

所述第一壓電體陶瓷為包含PZT的鉛類壓電體陶瓷、BaTiO₃，（Ba_1／2Na_1／2）TiO₃、（Ba_1／2K_1／2）TiO₃和｛（K_1－xNa_x）_1－yLi_y｝（Nb_1－z－wTa_zSb_w）O₃（0≤x≤1，0≤y≤0.2，0≤z≤0.4，0≤w≤0.2）或者含有它們之中至少兩種的固溶體陶瓷，所述第二壓電體陶瓷為Sr_2－xCa_xNaNb₅O₁₅（0≤x≤2）、Sr₂NaNb₅O₁₅、Ca₂NaNb₅O₁₅、Sr₂KNb₅O₁₅、Ba₂LiNb₅O₁₅、Ba₂NaNb₅O₁₅、Ba₂KNb₅O₁₅、K₃Li₂Nb₅O₁₅、Ba₂Bi_1／3Nb₅O₁₅、Pb₂NaNb₅O₁₅、Pb₂KNb₅O₁₅或者含有它們之中至少兩種的鎢青銅型的固溶體陶瓷。

7.一種壓電驅動裝置，其特征在于：

包括權利要求1～6中任一項所述的壓電驅動元件。