[實用新型]共燒結構的電導率傳感器

有效

• 申請號: 201220749115.7
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN202975172U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 秦浩;尤佳;傅巍;祁欣
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十九研究所
• 主分類號: G01R27/22
• 分類號: G01R27/22
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 牟永林

1.共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，它包括上極板(1)、下極板和極板間基片(3)；所述上極板(1)和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板和下極與極板間基片(3)連接的一端為固定端，另一端為懸空端；

上極板(1)由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一極板基片(1-1-1)、第二極板基片(1-1-2)、第三極板基片(1-1-3)、第四極板基片(1-1-4)和第五極板基片(1-1-5)；

第一極板基片(1-1-1)的懸空端的上表面設置有N個電極(1-2)，第三極板基片(1-1-3)的上表面設置有N根引線(1-3)，第五極板基片(1-1-5)的下表面設置N個輸出電極(1-4)，

第一極板基片(1-1-1)、第二極板基片(1-1-2)、第三極板基片(1-1-3)、第四極板基片(1-1-4)和第五極板基片(1-1-5)分別設置N個過孔，所述過孔為各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔內設置有導電金屬；

所述N個電極(1-2)分別通過第一極板基片(1-1-1)上的N個過孔和第二極板基片(1-1-2)上的N個過孔與第三極板基片(1-1-3)上的N根引線(1-3)連接，第三極板基片(1-1-3)上的N根引線(1-3)分別通過第三極板基片(1-1-3)上的N個過孔、第四極板基片上的N個過孔和第五極板基片(1-1-5)的N個過孔與第五極板基片(1-1-5)下表面的N個輸出電極(1-4)連接。

2.根據權利要求1所述的共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，所述第二極板基片(1-1-2)與第四極板基片(1-1-4)均為單層或多層結構。

3.根據權利要求1所述的共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，極板間基片(3)為單層或多層結構。

4.根據權利要求1所述的共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，所述N等于1或2或3或4或5。

5.根據權利要求1所述的共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，上極板(1)還包括溫度檢測元件(4)，第五極板基片(1-1-5)還包括兩個溫度檢測輸出電極(1-5)，所述溫度檢測元件(4)設置在第三極板基片(1-1-3)的上表面，所述溫度檢測元件(4)的兩端分別通過第三極板基片(1-1-3)上的過孔、第四極板基片(1-1-4)上的過孔和第五極板基片(1-1-5)上的過孔與第五極板基片(1-1-5)的兩個溫度檢測輸出電極(1-5)連接。