[實用新型]液體連續供應裝置

有效

• 申請號: 201220748816.9
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN203010206U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 陳楓;熊世偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F17D1/14
• 分類號: F17D1/14
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種液體連續供應裝置，其特征在于，包括至少三個溶液供應單元，每個所述溶液供應單元包括一溶液瓶、兩根接口管、兩個控制閥以及兩根連接管，所述溶液瓶的兩側底部開設通孔并在該通孔處分別密封安裝所述接口管的一端，所述接口管的另一端分別通過所述控制閥與所述連接管的一端密封連接，不同溶液供應單元的連接管可拆卸式連接。

2.根據權利要求1所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述控制閥包括閥體、兩端蓋、閥芯、閥芯驅動機構以及密封圈，所述接口管和所述連接管與所述閥體對接的一端分別設有擴充管部，所述閥體的兩側分別設有與所述擴充管部的內徑相匹配的凸管，藉由端蓋和閥體之間的螺紋連接將所述擴充管部固定套設于對應的凸管外側，所述閥體內部設有供所述閥芯滑動的閥芯通道，所述閥芯通道分別與所述凸管的內部連通，所述閥芯驅動機構帶動所述閥芯上、下移動以啟、閉兩個凸管之間的通路，所述閥芯上與所述閥芯通道相接觸的表面上設有所述密封圈。

3.根據權利要求2所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述閥芯驅動機構包括旋鈕以及螺桿，所述螺桿的一端與所述旋鈕固定連接，所述螺桿的另一端與所述閥芯固定連接，所述閥芯通道的靠邊緣部分設有與所述螺桿的外螺紋相匹配的內螺紋。

4.根據權利要求1所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述溶液瓶兩側的所述連接管的另一端分別設有公接頭和母接頭。

5.根據權利要求4所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述公接頭包括鎖緊器以及擴充管部，所述擴充管部與對應的連接管連接或一體成型，所述鎖緊器的一端套設于對應的連接管的外側，所述鎖緊器的另一端設有內螺紋。

6.根據權利要求5所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述母接頭包括頭部以及外螺紋管，所述頭部經所述外螺紋管與對應的連接管連接或一體成型，所述外螺紋與所述內螺紋相匹配。

7.根據權利要求1所述的液體連續供應裝置，其特征在于，還包括一手推車，所述手推車包括用于放置所述三個溶液供應單元的托盤、推桿以及多個輪子，所述輪子安裝于所述托盤的下方，所述推桿連接于所述托盤的一側。

8.根據權利要求1~7中任意一項所述的液體連續供應裝置，其特征在于，所述三個溶液供應單元中有一個溶液供應單元的溶液瓶外接一液體供應管路，所述液體供應管路上設有一液壓泵，其他溶液供應單元的連接管分別與外接有液體供應管路的溶液供應單元的連接管可拆卸式連接。