[實用新型]偏晶向晶棒粘接裝置有效
| 申請號： | 201220747487.6 | 申請日： | 2012-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN203007497U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 于新現 | 申請（專利權）人： | 西安神光安瑞光電科技有限公司;西安神光皓瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/06 | 分類號： | C30B33/06 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 710100 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶棒粘接 裝置 | ||
1.一種偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，包括：平臺；設置于所述平臺上的粘接臺；設置于所述平臺上的導向臺；多個固定所述晶棒的固定夾，多個所述固定夾均能夠沿著導向臺運動；及檢測晶棒偏置的二維傾角儀；
當進行晶棒粘接時，所述二維傾角儀置于待粘接的晶棒一端。
2.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述二維傾角儀的晶棒偏置檢測精度為0.0001°~0.002°。
3.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述二維傾角儀包括顯示器。
4.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述導向臺包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。
5.如權利要求4所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述方箱為“L”型結構。
6.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾包括外固定塊、設置于所述外固定塊中的墊條。
7.如權利要求6所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾還包括連接外固定塊與內固定塊的微分頭。
8.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設置于所述平臺上的限位螺桿，所述固定夾運動到一定位置后，固定于所述限位螺桿上。
9.如權利要求8所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括限位螺母，所述固定夾通過所述限位螺母固定于所述限位螺桿上。
10.如權利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設置于平臺上的第二線軌，所述粘接臺或者所述導向臺能夠沿著所述第二線軌運動。
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