[實用新型]量測元件

有效

• 申請號: 201220746608.5
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN203011478U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 邵任民;黃志偉;劉安鈞;洪羿達
• 申請（專利權）人: 昱成光能股份有限公司
• 主分類號: G01F23/04
• 分類號: G01F23/04
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本實用新型涉及一種量測設備，特別是涉及一種適用于量測長晶爐內石英坩堝中不同位置硅熔湯的固液界面位置變化的量測元件。

背景技術

現有一種以接觸式用來量測長晶爐的坩堝內部的晶種高度的高度分析設備(中國臺灣證書號M430484號專利案)，是利用一個驅動模組帶動一個夾頭模組、一支量測棒及一個切換開關朝向一個晶體移動，且該夾頭模組的一個第一夾頭夾設于量測棒上，該切換開關電性耦合于該驅動模組，利用該切換開關與該第一夾頭的接觸而輸出一個下移信號，且當該驅動模組帶動該量測棒的底端接觸到晶體時，該量測棒被晶體施加的一個向上力量，會使第一夾頭脫離量測棒，第一夾頭受該驅動模組帶動持續下移，同時，使得該第一夾頭與該切換開關脫離接觸，該切換開關會輸出一個上移信號，并控制該驅動模組帶動該夾頭模組、該量測棒及該切換開關向上移動。

雖然這種高度分析設備能利用該量測棒下移的深度及一個高度指示單元(光學尺)的一個讀取頭與一個高度標記配合并進行可程式計算，達到量測及分析位移量的目的，但是該量測棒只能對單一點位進行量測固液界面的位置變化，仍然無法量測其他點位的固液界面的位置變化。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種結構簡單且能量測長晶爐內石英坩堝中不同點位硅熔湯的固液界面位置變化的量測元件。

本實用新型的量測元件，包含一支主桿及一支量測桿，該主桿沿一條軸線延伸，該量測桿具有一個連接于該主桿的橫置部及一支連接于該橫置部的量測棒，該橫置部與該軸線相交設置，該量測棒與該橫置部相交設置且具有一個相對于該軸線呈偏移的量測端。

本實用新型的量測元件，該主桿呈直桿狀，該量測桿的橫置部與該軸線垂直相交設置，該量測棒與該橫置部垂直相交設置且與該主桿平行設置。

本實用新型的量測元件，該量測桿的橫置部與該量測棒連接呈一體。

本實用新型的量測元件，該主桿具有一個外螺紋，該量測元件還包含一個螺設于該主桿的外螺紋的連接件，該量測桿的橫置部連接于該連接件。

本實用新型的量測元件，該量測桿的橫置部具有數個與該軸線平行設置，且分別與該軸線產生不同偏移量的鎖孔，該量測棒具有一個能螺鎖于其中一個鎖孔的鎖接部。

本實用新型的量測元件，該主桿具有一個第一端及一個沿該軸線相反于該第一端的第二端，該量測元件還包含一支固接于該第一端且與該量測桿位于同一方位的旋轉桿。

本實用新型的有益效果在于：利用該量測棒的量測端相對于該軸線呈偏移的作用，當該量測元件伸設至長晶爐內的石英坩堝中，該主桿以該軸線為轉動中心轉動時，能量測不同點位硅熔湯的固液界面位置變化。

附圖說明

圖1是本實用新型量測元件第一較佳實施例的一個安裝示意圖；

圖2是該較佳實施例的一個平面組合圖；

圖3是該較佳實施例的一個控制流程圖；

圖4是本實用新型量測元件第二較佳實施例的一個平面組合圖。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。

如圖1及圖3所示，本實用新型量測元件10的一個較佳實施例，適宜安裝于一個長晶爐100且配合一個量測裝置200進行量測，該長晶爐100具有一個爐體110、一個設置于該爐體110內部的坩堝120，且該坩堝120中能填充一個硅原料130，該硅原料130熔化后產生一個硅熔湯140，該量測裝置200包含一個架體210、一個驅動單元220、一個升降單元230、一個歸零感測器240、一個位置檢知單元250、一個電流偵測器260、一個人機介面270及一個可程式控制單元280，該架體210固設于該長晶爐100的爐體110頂部，該驅動單元220安裝于該架體210上，并具有一個伺服馬達221、一個能輸出該伺服馬達221動力的減速機222及一個能將該伺服馬達221動力傳遞至該減速機222的聯軸器223，該升降單元230安裝于該架體210，并具有一支軸設于該架體210且受該驅動單元220的減速機222驅動的導螺桿231、一支平行于該導螺桿231的導引件232及一個螺合于該導螺桿231并能滑動且套設于該導引件的連動件233，該人機介面270具有一個顯示幕271。

配合參閱圖2，該量測元件10具有一支主桿11、一個螺設于該主桿11的連接件12、一個連接于該連接件12的量測桿13及一支連接于該主桿11的旋轉桿14。