[實用新型]化學氣相沉積設備的控制系統

有效

• 申請號: 201220746563.1
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN203007418U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 張義明;陳力兵;祝龍飛;房偉
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 楊林;馬翠平

1.一種化學氣相沉積設備的控制系統，用于控制化學氣相沉積設備進行沉積工藝，所述控制系統包括可編程控制器處理模塊及若干個可編程控制器控制模塊，其特征在于，所述若干個可編程控制器控制模塊和所述可編程控制器處理模塊通過多段網絡連接線串聯連接形成環形網絡，使得每個所述可編程控制器控制模塊通過雙向的網絡線路與所述可編程控制器處理模塊進行通訊聯系。

2.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于，所述環形網絡中任意一個所述可編程控制器控制模塊一端連接的一段網絡連接線出現故障時，所述任意一個可編程控制器控制模塊通過所述任意一個可編程控制器控制模塊另一端連接的一段網絡連接線與所述可編程控制器處理模塊進行通訊聯系。

3.根據權利要求1或2所述的控制系統，其特征在于，每個所述可編程控制器控制模塊包括一故障檢測模塊，所述故障檢測模塊用以檢測對應的可編程控制器控制模塊兩端分別連接的一段網絡連接線是否斷開，當所述故障檢測模塊檢測到一端的一段網絡連接線斷開時，所述對應的可編程控制器控制模塊通過另一端的一段網絡連接線向所述可編程控制器處理模塊發送故障信號，所述可編程控制器處理模塊連接一報警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號后使所述報警單元發出報警信號。

4.根據權利要求3所述的控制系統，其特征在于，所述可編程控制器處理模塊還連接一顯示裝置，當所述故障檢測模塊檢測到所述對應的可編程控制器控制模塊一端連接的一段網絡連接線斷開時，所述對應的可編程控制器控制模塊記錄所述斷開的一段網絡連接線的位置，并形成相應的位置信號；所述對應的可編程控制器控制模塊通過另一端連接的一段網絡連接線向所述可編程控制器處理模塊發送位置信號，所述可編程控制器處理模塊接收到所述位置信號后使所述顯示裝置顯示所述斷開的一段網絡連接線的位置。

5.根據權利要求1或2所述的控制系統，其特征在于，所述可編程控制器處理模塊還包括一故障檢測模塊，所述故障檢測模塊用于檢測所述可編程控制器處理模塊兩端分別連接的一段網絡連接線是否斷開，當所述故障檢測模塊檢測到一端的一段網絡連接線斷開時，所述故障檢測模塊發送故障信號，所述可編程控制器處理模塊連接一報警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號后使所述報警單元發出報警信號。