[實用新型]一種適于導片的石英舟

有效

• 申請號: 201220745836.0
• 申請日: 2012-12-29
• 公開（公告）號: CN203071053U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 唐亮;王利國;戴德鵬;劉屹;張偉;冷皓;郭輝;周洋
• 申請（專利權）人: 晶澳（揚州）太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 李海波

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池片的擴散設備，特別涉及一種適于導片的石英舟。

背景技術

石英舟是一種在擴散爐中用來裝載硅太陽能電池片或稱硅片的夾具，其外形需要與擴散設備、硅片、自動化設備相適應。由于硅片厚度正常處于200-170um范圍，較薄，因此要保證硅片在裝載過程及后續的高溫擴散和氧化過程中保持完整，不受損壞。同時，隨著硅太陽能電池片生產線對自動化和品質要求的提高，要求石英舟能滿足擴散品質與自動化。

但是目前國內廠家采用的石英舟存在以下問題：（1）在槽口設計不合理，槽口較窄，使得裝載有硅片的石英舟同一性不好，不但影響了擴散工藝，同時也使得自動化導片過程中碎片率高；（2）取舟套筒設于石英舟框架的底部中間，阻礙了自動化導片設備從底部頂起硅片；（3）結構不牢固，使用后變形、損壞率過高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種適于導片的石英舟，可降低硅片碎片率。

本實用新型的目的可通過以下技術方案實現：一種適于導片的石英舟，包括支撐框架和安裝于支撐框架上的取舟套筒，所述支撐框架包括兩端面板以及一對相互平行的上槽棒和一對相互平行的下槽棒，所述上槽棒和下槽棒上均開有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒的卡槽設置在上槽棒的內側面，所述下槽棒的卡槽設置在下槽棒的上表面，所述上槽棒的卡槽和下槽棒的卡槽均為傾斜設置的V型槽，以端面板為基準面，該V型槽的傾斜角度α為2°~5°，槽深為3mm~4mm，槽底寬度為1mm~1.5mm，兩槽壁的夾角β為20°~30°，通過較寬的V型槽槽口來適于自動導片設備進行導片，降低硅片碎片率。

在上述基礎上，本實用新型可做如下改進：

本實用新型所述的一對上槽棒的間距大于所述的一對下槽棒的間距，以穩定卡插硅片，并利于自動導片設備從框架底部向上托起硅片。

本實用新型所述下槽棒的兩側設有一對相互平行的支撐棒，所述支撐棒的兩端固定于兩端面板上，以增強支撐框架的牢固程度，降低硅片碎片率。

本實用新型所述的一對支撐棒的間距大于所述的一對上槽棒的間距，以進一步增強支撐框架的牢固程度，降低硅片碎片率。

作為本實用新型的進一步改進：

本實用新型所述取舟套筒位于端面板的頂部，以避免取舟套筒阻礙自動導片設備進行導片。

本實用新型所述端面板的底部中心開有用于外部自動導片設備定位的半圓形定位孔，以便自動導片設備精確定位石英舟的位置，提高導片成功率。

與現有技術相比，本實用新型技術具有如下有益效果：

（1）本實用新型的V型槽的設置可使硅片穩固卡插在卡槽內，同時也降低了插片難度，降低了插片時或自動導片設備導片時的碎片率，從而提高硅片擴散工藝中的擴散品質；

（2）本實用新型通過各槽棒及支撐棒間距的設置，提高了支撐框架整體的牢固程度，使石英舟結構緊湊，不易扭曲，進一步降低了硅片碎片率；

（3）本實用新型將取舟套筒設于端面板的頂部，避免了現有技術中取舟套筒在一對下槽棒之間而阻礙自動導片設備進行導片的問題，從而降低了插片、導片的難度，更進一步降低了硅片的碎片率。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視結構示意圖；

圖2為圖1的A處放大示意圖；

圖3為圖1的側視圖。

圖中：1、支撐框架；11、上槽棒；111、上槽棒的卡槽；12、下槽棒；121、下槽棒的卡槽；13、端面板；14、支撐棒；2、取舟套筒；4、定位孔。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。

如圖1~3所示的一種適于導片的石英舟，包括支撐框架1和安裝于支撐框架上的取舟套筒2，支撐框架1包括兩端面板13以及一對相互平行的上槽棒11和一對相互平行的下槽棒12，上槽棒11和下槽棒12架設在兩端面板13上，取舟套筒2位于端面板13的頂部。

兩上槽棒11的間距大于兩下槽棒12的間距，在下槽棒12的兩側設有一對相互平行的支撐棒14，支撐棒14的兩端固定于兩端面板13上，兩支撐棒14的間距大于兩上槽棒11的間距，從而形成穩固的支撐框架1結構。

上槽棒11和下槽棒12上均開有卡槽，卡槽沿各槽棒長度方向陣列設置，卡槽用于卡插硅片，每個卡槽可卡插兩個硅片。上槽棒11的卡槽111設置在上槽棒11的內側面，下槽棒12的卡槽121設置在下槽棒11的上表面。