[實用新型]一種藍寶石單晶爐的測溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220744874.4
• 申請日: 2012-12-29
• 公開（公告）號: CN202968760U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何正梁;林岳明;毛慶斌
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江中賽科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B17/00
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 33241
• 代理人: 周涌賀

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種藍寶石單晶爐，尤其是一種用于藍寶石單晶爐的測溫裝置。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)外泡生法的藍寶石長晶爐只有在加熱器部位安裝有熱電偶測溫裝置，其只能測試加熱器的表面溫度，而溶液實際溫度無法準確顯示，因此對長晶過程中的引晶溫度很難掌握，基本靠長晶工程師的多年實際操作經(jīng)驗來判斷溶液溫度，需要多次試驗才能掌握最佳的長晶溫度，可能需要幾個小時甚至十幾小時來調(diào)整溫度，稍有不慎籽晶都會融化，這樣既花費了人力增加了原料成本又延長了長晶時間增加了能耗。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種藍寶石單晶爐的測溫裝置，解決在實際長晶過程中快速準確掌握最佳引晶溫度，準確反映出溶液表面實際溫度，方便操作工準確掌握引晶最佳溫度。

本實用新型解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案：這種藍寶石單晶爐的測溫裝置，包括爐體、爐蓋，爐體內(nèi)設(shè)有容納溶液的鉗鍋，其中爐蓋上設(shè)有觀測孔，觀測孔上設(shè)有紅外測溫儀。通過紅外測溫儀直接檢測鉗鍋內(nèi)溶液的溫度，從而可以快速準確掌握最佳引晶溫度。

其中爐蓋上調(diào)節(jié)紅外測溫儀角度的擺動機構(gòu)，其中紅外測溫儀安裝在該擺動機構(gòu)上。這樣可方便調(diào)節(jié)紅外測溫儀的觀測角度，使其精確地對準鉗鍋內(nèi)的溶液。

其中紅外測溫儀包括紅外測溫器，紅外測溫器上設(shè)有光學系統(tǒng)，紅外測溫器連接信號處理器，信號處理器連接溫度顯示器。

其中光學系統(tǒng)包括目鏡、分化板、分光片和物鏡。

本實用新型有益的效果是：本實用新型安裝方便，連接簡單；測溫精確，變化靈敏；性能穩(wěn)定，不易損壞。最明顯的效果是能讓長晶工程師直接從顯示器上讀取溶液中心表面溫度，再通過引晶時工藝需求的溫度來調(diào)整電壓大小，從而控制加熱器功率，改變爐內(nèi)溶液溫度，在最短的時間內(nèi)把溶液溫度控制在最佳的引晶溫度，下降籽晶提升機構(gòu)，使籽晶接觸溶液，此時最佳的溶液溫度保證了快速準確的引晶，從而縮短時間、人力、能耗，保證生產(chǎn)品質(zhì)及制程進度。

附圖說明

圖1為本實用新型內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型紅外測溫儀的原理圖；

圖3為本實用新型光學系統(tǒng)的原理圖。

附圖標記說明：爐體1，爐蓋2，鉗鍋3，溶液4，觀測孔5，紅外測溫儀6，擺動機構(gòu)7，被測目標8，光學系統(tǒng)9，目鏡9-1，分化板9-2，分光片9-3，物鏡9-4，紅外探測器10，信號處理器11，溫度顯示器12。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明：

參照附圖：這種藍寶石單晶爐的測溫裝置，包括爐體1、爐蓋2，爐體1內(nèi)設(shè)有容納溶液4的鉗鍋3，其中爐蓋2上設(shè)有觀測孔5，觀測孔5上設(shè)有紅外測溫儀6。其中爐蓋2上調(diào)節(jié)紅外測溫儀6角度的擺動機構(gòu)7，其中紅外測溫儀6安裝在該擺動機構(gòu)7上。

其中紅外測溫儀6包括紅外探測器10，紅外探測器10上設(shè)有光學系統(tǒng)9，紅外探測器10連接信號處理器11，信號處理器11連接溫度顯示器12。其中光學系統(tǒng)9包括目鏡9-1、分化板9-2、分光片9-3和物鏡9-4。

本實用新型是在原有藍寶石長晶爐蓋2中心部位安裝一套短波高溫紅外雙色測溫儀6，該紅外測溫儀6工作波長0.8～1.08μm，測溫范圍600～3000℃，適合液態(tài)溶液的測量，不受爐體1內(nèi)部的熱場變化的影響，光學測溫探頭封裝在緊湊型的機械外殼中，通過可以180°左右旋轉(zhuǎn)機械裝置把他固定在爐蓋2中心原有籽晶提升機構(gòu)附近的觀測孔5上。工作時把紅外測溫儀探頭旋轉(zhuǎn)至中心觀測孔正上方，紅外探測波正好對準溶液中心位置，可以非接觸測試溶液表面溫度；紅外測溫儀6的電源及信號線連接至信號處理器11，再由信號處理器11輸出至溫度顯示器12。

雖然本實用新型已通過參考優(yōu)選的實施例進行了圖示和描述，但是，本專業(yè)普通技術(shù)人員應(yīng)當了解，在權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，可作形式和細節(jié)上的各種各樣變化。