[實(shí)用新型]一種硅片的加工夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220742111.6 | 申請(qǐng)日： | 2012-12-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203062494U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 聶金根 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 鎮(zhèn)江市港南電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B37/27 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 江蘇省鎮(zhèn)江市*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 加工 夾具 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種硅片的加工夾具，包括定位夾、鎖緊螺桿，定位夾內(nèi)設(shè)有夾緊板，所述鎖緊螺桿一端插入定位夾內(nèi)，并頂在夾緊板上，其特征在于，所述夾緊板上設(shè)有彈性墊片。
2.如權(quán)利要求1所述一種硅片的加工夾具，其特征在于，所述彈性墊片與硅片接觸的面上設(shè)有滾花紋。
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