[實用新型]一種異物檢測裝置有效
| 申請號： | 201220740727.X | 申請日： | 2012-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN203083536U | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 張繼凱;萬冀豫;黎敏;姜晶晶 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/28 | 分類號： | G01B11/28;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 蔣雅潔;程立民 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 異物 檢測 裝置 | ||
1.一種異物檢測裝置，包括異物掃描區和異物確認區，其特征在于，在所述異物掃描區和所述異物確認區之間設有異物高度檢測區，
所述異物掃描區，用于通過掃描檢測基板上的異物的坐標和面積；
所述異物高度檢測區，用于檢測所述異物掃描區檢測出來的異物的高度是否超過預設規格；
所述異物確認區，用于對所述檢測出來的異物的面積和高度進行確認，并存儲相應異物的面積和高度的信息。
2.根據權利要求1所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物高度檢測區內設有檢測儀基臺，在所述檢測儀基臺的一側設有固定檢出系統，所述固定檢出系統包括激光發射器和激光接收器，在所述檢測儀基臺的另一側設有反射平面鏡。
3.根據權利要求2所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述固定檢出系統和反射平面鏡根據所述預設規格的不同，同時進行升降并固定，以確定異物高度是否超過預設規格。
4.根據權利要求1、2或3所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物確認區中設有3D鏡頭，所述3D鏡頭用于對所述檢測出來的異物的高度進行確認。
5.根據權利要求4所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物確認區中還設有2D鏡頭，所述2D鏡頭用于對所述檢測出來的異物的面積進行確認。
6.根據權利要求5所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物確認區中還設有控制系統，用于控制所述2D鏡頭和3D鏡頭進行切換測量。
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