[實用新型]帶蓋的鎢舟

有效

• 申請號: 201220740439.4
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN203007398U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 陳道理
• 申請（專利權）人: 盱眙新遠光學科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種帶蓋的鎢舟，應用于薄膜制備領域。

背景技術

在薄膜制備過程中，需要很強的功率才會使金屬原料從固體狀態蒸發汽化。但是現有的鎢舟容器往往比較淺矮，這樣金屬原料往往在加熱過程中容易濺出鎢舟外，這樣使得鎢舟內的原料不足，可能導致鍍膜厚度不夠，或者剩余原料（如銀料）變黑變黃，既浪費寶貴的金屬原料，又影響有效工件。

故，需要一種新的產品以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種使用方便、經濟實用的帶蓋的鎢舟產品。

為實現上述發明目的，本實用新型帶蓋的鎢舟可采用如下技術方案：

一種帶蓋的鎢舟，具有鎢舟蓋和鎢舟本體，鎢舟蓋上設有蒸發孔。

有益效果：本實用新型能有效地防止原料濺出鎢舟，既保證了成品質量，又節省了原料。

優選地，蒸發孔為圓孔，圓孔的孔徑為1mm，孔間距為2mm。

優選地，蒸發孔為百葉窗，百葉窗的窗口寬1mm，窗間距為2mm。

附圖說明

圖1是本實用新型的帶蓋的鎢舟的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

請參閱圖1所示，一種帶蓋的鎢舟，具有鎢舟蓋1和鎢舟本體2，鎢舟蓋1上設有蒸發孔。蒸發孔為圓孔，圓孔的孔徑為1mm，孔間距為2mm。蒸發孔為百葉窗，百葉窗的窗口寬1mm，窗間距為2mm。

由于鍍膜工藝過程中所采用的材料的截面均大于1mm，因此，這種設置能有效地防止材料濺出鎢舟。

如上所述，本實用新型能有效地防止原料濺出鎢舟，保證了成品質量，又節省了原料。