[實用新型]帶鎢絲的鎢舟

有效

• 申請號: 201220740424.8
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN203007389U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 陳道理
• 申請（專利權）人: 盱眙新遠光學科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于薄膜制備領域，具體涉及一種帶鎢絲的鎢舟。

背景技術

在薄膜制備過程中，需要很強的功率才會使金屬原料從固體狀態蒸發汽化。但是現有的鎢舟容器往往比較淺矮，這樣金屬原料往往在加熱過程中容易濺出鎢舟外，這樣容易浪費寶貴的金屬原料，影響有效工件。另一方面，鎢舟也不能加大功率，來縮短蒸發時間，因為這樣可能會導致金屬原料在鎢舟內加熱時間過長使有效工件完全烤焦而不能使用。

故，需要一種新的鎢舟以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種使用方便、經濟實用的帶鎢絲的鎢舟產品。

為實現上述發明目的，本實用新型帶鎢絲的鎢舟可采用如下技術方案：

一種帶鎢絲的鎢舟，包括兩根鎢絲、鎢絞絲和鎢舟本體，所述兩根鎢絲分別纏繞在所述鎢舟本體的槽體兩端，所述鎢絞絲的兩端分別固定連接所述兩根鎢絲。

優選地，所述鎢絞絲至少為兩根，相鄰所述鎢絞絲的之間的距離為2±0.2mm。防濺效果較好。

優選地，所述鎢絞絲距離鎢舟本體槽體底面的距離為2±0.2mm。

有益效果：本實用新型增加了與原料的接觸面，節省了蒸發時間，也能減少原料濺出鎢舟，不僅節省原料，也提高了成品質量。

附圖說明

圖1是本實用新型的帶鎢絲的鎢舟的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

請參閱圖1所示，一種帶鎢絲的鎢舟，具有兩根鎢絲1、鎢絞絲2和鎢舟本體3，兩根鎢絲1分別纏繞在鎢舟本體3的槽體兩端，鎢絞絲2的兩端分別固定連接兩根鎢絲1。其中，鎢絞絲2至少為兩根，相鄰鎢絞絲2之間的距離為2±0.2mm。鎢絞絲2距離鎢舟本體3槽體底面的距離為2±0.2mm。距離合適，防濺效果更好。

如上所述，本實用新型增加了與原料的接觸面，節省了蒸發時間，也能有效地防止原料濺出鎢舟，既保證了成品質量，又節省了原料。