[實用新型]一種聲表面波（SAW）換能器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220739472.5 | 申請日： | 2012-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN203027217U | 公開（公告）日： | 2013-06-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 朱小萍 | 申請（專利權）人： | 淮南聯合大學;朱小萍 |
| 主分類號： | H03H9/64 | 分類號： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 232038 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面波 saw 換能器 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲表面波（SAW）換能器，包括基底、叉指換能器電極組成，其特征在于，所述基底為金剛石/ALN/Al/?BN多層膜結構，所述叉指換能器電極是AL/ALN雙層膜結構。
2.根據權利要求1所述的一種聲表面波（SAW）換能器，其特征在于，所述金剛石/ALN/Al/?BN多層膜結構中，是在襯底硅上制備金剛石膜,?金剛石膜厚度20μm。
3.根據權利要求1所述的一種聲表面波（SAW）換能器，其特征在于，所述金剛石/ALN/Al/?BN多層膜結構中，是在金剛石膜上制備氮化鋁ALN膜,膜厚0.2-0.3μm。
4.根據權利要求1所述的一種聲表面波（SAW）換能器，其特征在于，所述金剛石/ALN/Al/?BN多層膜結構中，是在ALN膜上采用直流磁控濺射系統制備納米AL膜,膜厚40-50nm。
5.根據權利要求1所述的一種聲表面波（SAW）換能器，其特征在于，所述金剛石/ALN/Al/?BN多層膜結構中，是在納米AL膜表面用射頻磁控濺射法制備納米氮化硼B(yǎng)N膜,膜厚0.8-0.9μm。
6.根據權利要求1所述的一種聲表面波（SAW）換能器，其特征在于，所述AL/ALN雙層膜結構中，是在多層膜壓電基底上，采用濺射技術制備AL膜，采用射頻濺射法制備ALN膜，采用剝離工藝制備雙層結構的叉指換能器電極，電極厚度為40-50nm。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于淮南聯合大學;朱小萍，未經淮南聯合大學;朱小萍許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220739472.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種菱鎂水泥輕質墻板布料機
- 下一篇：壁流式蜂窩陶瓷載體坯成型模
