[實用新型]一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤有效
| 申請號： | 201220738863.5 | 申請日： | 2012-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN203076164U | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 李賢;劉松民;白路;班群;沈輝 | 申請（專利權）人： | 中山大學 |
| 主分類號： | B05C13/02 | 分類號： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100 | 代理人： | 曹愛紅 |
| 地址： | 510006 廣東省廣州市大*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 用旋涂儀 多功能 轉盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，包括轉柄和盤面，所述轉柄和盤面固定連接成一體，其特征在于：所述轉柄中心處設有抽氣圓孔，所述轉盤上表面設有凹槽，所述凹槽上設有多道吸氣槽，且至少有一條通過轉柄中心與其余吸氣槽相交。
2.根據權利要求1所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：所述凹槽的四個角位置處各有一個開口至盤面邊緣。
3.根據權利要求2所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：開口寬度為0.5-1.5cm。
4.根據權利要求1所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：轉柄和盤面采用過盈連接。
5.根據權利要求1所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：轉柄和盤面中軸線重合。
6.根據權利要求1所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：所述吸氣槽有10~30道。
7.根據權利要求6所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：所述吸氣槽為橢圓形、圓形或長條形。
8.根據權利要求1所述的一種半導體用旋涂儀的多功能轉盤，其特征在于：所述轉柄上有兩個關于中軸對稱的U型槽。
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