[實用新型]拋光用陶瓷盤有效
| 申請號: | 201220736051.7 | 申請日: | 2012-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN203003705U | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 劉曉強 | 申請(專利權)人: | 青島嘉星晶電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B24D7/18 | 分類號: | B24D7/18 |
| 代理公司: | 青島發思特專利商標代理有限公司 37212 | 代理人: | 劉雁君 |
| 地址: | 266114 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 拋光 陶瓷 | ||
【權利要求書】:
1.一種拋光用陶瓷盤(2),其特征在于,其邊緣處設置凸邊(3),所述凸邊(3)厚度小于所述陶瓷盤(2)上放置襯底片(1)的厚度。
2.根據權利要求1所述的拋光用陶瓷盤,其特征在于,所述凸邊(3)頂端平行于陶瓷盤(2)底面,邊緣倒角。
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