[實用新型]碳化硅橫向肖特基結型微型核電池

有效

• 申請號: 201220735047.9
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN203013281U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 張林;李清華;邱彥章;巨永鋒
• 申請（專利權）人: 長安大學
• 主分類號: G21H1/06
• 分類號: G21H1/06
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：包括由N型SiC基片構成的襯底（1）和設置在所述襯底（1）上部的N型SiC外延層（2），所述N型SiC外延層（2）上設置有N型SiC歐姆接觸摻雜區（3），所述N型SiC歐姆接觸摻雜區（3）上部設置有形狀與所述N型SiC歐姆接觸摻雜區（3）形狀相同的歐姆接觸電極（4），所述N型SiC外延層（2）上部設置有肖特基接觸電極（5）；所述N型SiC歐姆接觸摻雜區（3）、歐姆接觸電極（4）和肖特基接觸電極（5）均為由一條水平指條和多條垂直指條構成的指狀結構，所述歐姆接觸電極（4）的垂直指條與所述肖特基接觸電極（5）的垂直指條相互交叉設置構成了叉指結構；所述N型SiC外延層（2）上部除去歐姆接觸電極（4）和肖特基接觸電極（5）的區域設置有二氧化硅層（6）。

2.按照權利要求1所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述N型SiC歐姆接觸摻雜區（3）和歐姆接觸電極（4）均為由一條水平指條和三條垂直指條構成的指狀結構，所述肖特基接觸電極（5）為由一條水平指條和兩條垂直指條構成的指狀結構，所述肖特基接觸電極（5）的兩條垂直指條分別位于所述歐姆接觸電極（4）的三條垂直指條之間的兩個間隙中構成了叉指結構。

3.按照權利要求1或2所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述N型SiC外延層（2）的厚度為5μm～15μm。

4.按照權利要求1或2所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述N型SiC歐姆接觸摻雜區（3）的水平指條和垂直指條的寬度，所述歐姆接觸電極（4）的水平指條和垂直指條的寬度，以及所述肖特基接觸電極（5）的水平指條和垂直指條的寬度均為0.5μm～2μm；所述肖特基接觸電極（5）的垂直指條與所述歐姆接觸電極（4）的垂直指條之間的間隔距離為10μm～15μm。

5.按照權利要求1或2所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述歐姆接觸電極（4）由依次從下到上的第一Ni層和Pt層構成，所述第一Ni層的厚度為200nm～400nm，所述Pt層的厚度為50nm～200nm。

6.按照權利要求1或2所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述肖特基接觸電極（5）由依次從下到上的第Ni層和Al層構成，所述第Ni層的厚度為50nm～100nm，所述Al層的厚度為1000nm～2000nm。

7.按照權利要求1或2所述的碳化硅橫向肖特基結型微型核電池，其特征在于：所述二氧化硅層（6）的厚度為10nm～50nm。