[實用新型]用于室溫檢測超低濃度氮氧化物氣體的氣敏元件

有效

• 申請號: 201220729968.4
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN203069539U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 胡明;李明達;馬雙云;閆文君;曾鵬
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張宏祥

1.一種用于室溫檢測超低濃度氮氧化物氣體的氣敏元件，包括硅基片襯底和鉑電極，其特征在于，所述硅基片襯底（1）為n型單晶硅基片，尺寸為2.4cm×0.9cm；硅基片襯底（1）的上面設置有多孔硅層（2），該多孔硅層（2）的平均孔徑為170.28nm，厚度為68.78μm，多孔硅層（2）的上面設置有氧化鎢薄膜（3），薄膜厚度為35nm，所述多孔硅層（2）與氧化鎢薄膜（3）形成多孔硅基氧化鎢納米復合結構；氧化鎢薄膜（3）的上表面設置有鉑電極正極（4）和鉑電極負極（5）。

2.根據權利要求1的用于室溫檢測超低濃度氮氧化物氣體的氣敏元件，其特征在于，所述鉑電極正極（4）和鉑電極負極（5）為0.2cm×0.2cm的方形鉑電極，電極間距為0.8cm。

3.根據權利要求1的用于室溫檢測超低濃度氮氧化物氣體的氣敏元件，其特征在于，所述鉑電極正極（4）和鉑電極負極（5）的鉑薄膜厚度為80nm。