[實用新型]一種硅片研磨液的攪拌裝置有效
| 申請號： | 201220729712.3 | 申請日： | 2012-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN203155126U | 公開（公告）日： | 2013-08-28 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | B01F7/18 | 分類號： | B01F7/18;B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 研磨 攪拌 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌葉、電機，其特征在于，還包括溫控裝置，所述溫控裝置包括溫度傳感器、控制器，所述溫度傳感器的輸出端接入所述控制器的輸入端，所述控制器的輸出端與所述電機相連。
2.如權利要求1所述的硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述控制器為PLC。
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