[實用新型]一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置

有效

• 申請號: 201220727157.0
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN203039998U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 朱錦華
• 申請（專利權）人: 江蘇達勝加速器制造有限公司
• 主分類號: H05H7/14
• 分類號: H05H7/14
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本實用新型涉及了一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，屬于加速器真空技術領域。

背景技術

電子輻照加速器的真空系統主要有電子輪、加速管支座、漂移管、波紋管、掃描磁鐵芯管、掃描盒及抽氣系統組成。真空抽氣系統是加速器真空系統的重要系統。加速器要求的真空度主要由系統的殘余氣體分子與電子束的碰撞，由避免及減少由碰撞產生的庫侖散射帶來的能量損失程度來決定。因此，真空度至少不大于10³帕，分子的平均自由程達5米以上，才能獲得一個滿意的束流品質，原美國RDI公司加速器在四通處動態真空為10⁴帕，這樣的真空對于加速器真空顯然是不滿意的，因此具有一個良好的真空抽氣系統來改善束流品質，提高加速器的性能是很重要的關鍵。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，能夠使加速器具有良好的真空度，以改變其束流品質，提高加速器的性能。

?為了解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：

一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通，所述四通的一端連接有分子泵，所述分子泵與前級泵相連接，所述四通的另一端還連接有離子泵。

前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵與四通之間設置有插板閥。

前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵與前級泵之間還設置有檢漏閥門。

前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵為FB450型渦輪分子泵。

前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述離子泵為L400型濺射型離子泵。

?本實用新型的有益效果是：通過在加速器的四通上安裝兩路可同時工作的抽真空系統，使加速器能獲得較為滿意的真空度，當加速器不出束時，通過插板閥切斷其中一路抽真空系統，即可保證加速器的正常工作，從而保住了加速器的束流品質。

附圖說明

?圖1是本實用新型一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置的結構示意圖。

具體實施方式

????下面將結合說明書附圖，對本實用新型作進一步的說明。

?????如圖1所示，一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通1，所述四通1的一端連接有分子泵2，所述分子泵2與前級泵3相連接，所述四通1的另一端還連接有離子泵4，其中分子泵2為FB450型渦輪分子泵，離子泵4為L400型濺射型離子泵。二路抽真空系統同時工作，可保證獲得滿意的真空度。

分子泵2與四通1之間設置有插板閥5，當加速器不出束時關閉插板閥5切斷分子泵2抽氣回路，僅啟動離子泵4來維持真空。經一段工作時間，系統僅啟動離子泵4就可以保證加速器的正常工作。

分子泵2與前級泵3之間還設置有檢漏閥門6，滿足真空系統檢漏的需要，真空密封采用無氧銅密封墊。

綜上所述，本實用新型提供的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，能夠使加速器具有良好的真空度，以改變其束流品質，提高加速器的性能。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征及優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界。