[實用新型]用于長晶的復(fù)合式保溫單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220726013.3
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN203007467U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邵任民;黃志偉;劉安鈞;洪羿達
• 申請（專利權(quán)）人: 昱成光能股份有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06
• 代理公司: 北京泰吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種保溫單元，特別是涉及一種用于長晶的復(fù)合式保溫單元。

背景技術(shù)

參閱圖1，中國臺灣第I346152證書號發(fā)明專利案公開一種長晶爐1，其包含：一上爐壁11、一封閉該上爐壁11的一底部的爐底蓋12、一設(shè)置于該上爐壁11與該爐底蓋12內(nèi)的保溫單元13、一設(shè)置于該保溫單元13內(nèi)的支撐桌板14、復(fù)數(shù)個電極單元15，及復(fù)數(shù)個電阻式石墨(graphite)加熱器16。該長晶爐1于實施多晶硅長晶時，是將硅原料(圖未示)放置于該支撐桌板14上的一坩堝(crucible)17內(nèi)，并通過該長晶爐1外部的復(fù)數(shù)個電纜線(圖1只顯示一個電纜線)18以提供高電流低電壓的電源給各電極單元15，以使高電流自各電極單元15傳遞至各電阻式石墨加熱器16，從而使各電阻式石墨加熱器16產(chǎn)生高電阻并形成高溫；其中，所形成的高溫則是通過該隔熱單元13以構(gòu)成一熱場(thermal?field)，并使該坩堝17內(nèi)的硅原料因高溫?zé)釄龆诮獬梢还枞蹨?9。

熟悉長晶技術(shù)領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)人員皆知，該保溫單元13通常是由多數(shù)碳纖維(carbon?fiber)板所構(gòu)成。碳纖維板雖然可為該長晶爐1提供該熱場，以使該坩堝17內(nèi)的硅原料因該高溫?zé)釄鏊诮猓⒔档驮撻L晶爐1的整體能耗。然而，上述碳纖維板經(jīng)長時間使用后會產(chǎn)生碳化，甚或容易與硅氣體反應(yīng)生成碳化硅(SiC)，從而在成長晶碇(ingot)的過程中隨著氣體流入硅熔湯19中，導(dǎo)致晶碇內(nèi)部形成有碳化硅，并降低最終成長完成的晶碇質(zhì)量。

經(jīng)上述說明可知，改良長晶用的保溫單元的結(jié)構(gòu)，以避免碳化的問題產(chǎn)生而影響到晶碇質(zhì)量，并為長晶爐提供一穩(wěn)定的熱場，是此技術(shù)領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)人員所待解決的課題。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種用于長晶的復(fù)合式保溫單元。

本實用新型用于長晶的復(fù)合式保溫單元，是架設(shè)在一個長晶爐中以為該長晶爐提供一個熱場，該復(fù)合式保溫單元包含至少一個保溫板組合。該保溫板組合包括一個內(nèi)部保溫件及一個陶瓷(ceramic)層。該內(nèi)部保溫件具有一個碳纖維板及一個斷熱層，且該斷熱層設(shè)置于該碳纖維板。該陶瓷層附著于該內(nèi)部保溫件，并包圍住該內(nèi)部保溫件。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該斷熱層沿該保溫板組合的一厚度方向具有一第一厚度d₁，該第一厚度d₁是介于10mm至20mm間；該陶瓷層沿該厚度方向具有一第二厚度d₂，該第二厚度d₂小于1mm。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該碳纖維板沿該厚度方向具有相反設(shè)置的一內(nèi)表面及一外表面，該斷熱層是疊置在該碳纖維板的外表面上。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該斷熱層是設(shè)置在該碳纖維板中。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該內(nèi)部保溫件沿該保溫板組合的一高度方向還具有相反設(shè)置的一上表面及一下表面，且該陶瓷層沿該高度方向還具有一位于該內(nèi)部保溫件的下表面的第三厚度d₃，該第三厚度d₃介于5cm至20cm間。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，包含四個呈口字型圍繞銜接的保溫板組合，并借所述保溫板組合共同界定出該長晶爐的熱場。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，還包含一個頂部保溫板組合，該頂部保溫板組合是設(shè)置于所述保溫板組合的一頂端，用于封閉該長晶爐的熱場的上方。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，還包含一個底部保溫板組合，該底部保溫板組合是設(shè)置于所述保溫板組合的一底端，用于封閉該長晶爐的熱場的下方。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該斷熱層的熱傳導(dǎo)系數(shù)(thermal?conductivity)低于該碳纖維板的熱傳導(dǎo)系數(shù)。

本實用新型所述用于長晶的復(fù)合式保溫單元，該斷熱層是一氧化鋁(Al₂O₃)毯。

本實用新型的有益效果在于：借包圍住該內(nèi)部保溫件的該陶瓷層以避免晶碇質(zhì)量因碳化的問題而受到不良的影響，并利用該斷熱層以為該長晶爐提供一穩(wěn)定的熱場。

附圖說明

圖1是一局部剖視示意圖，說明中國臺灣第I346152證書號發(fā)明專利案所公開的一種長晶爐；

圖2是一正視示意圖，說明本實用新型用于長晶的復(fù)合式保溫單元的一第一較佳實施例架設(shè)在一長晶爐中的位置關(guān)系；

圖3是一正視示意圖，說明本實用新型該第一較佳實施例的細部結(jié)構(gòu)；