[實用新型]一種光束檢測儀

有效

• 申請號: 201220724913.4
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN202994090U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 武杰杰;趙華龍;楊小君
• 申請（專利權）人: 中科中涵激光設備（福建）股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種光束檢測儀，用于激光加工領域。

背景技術

在光機設備裝調過程中經常需要檢測光束的位置及光束截面的形狀，而目前采用的檢測方式是通過一平面反射鏡將光束所成的像反射至CCD模塊，如圖1所示。光束1經過45度反射鏡反射后，經過聚焦鏡頭4，入射到CCD芯片，CCD檢測模塊3將CCD芯片輸出的信號轉換為數字信號后輸入到數據處理器10做進一步分析運算，并將計算的結果和采集的圖像信息顯示到顯示器9上。

這個檢測方式直接將光斑成像，雖然檢測速度較快，但是光斑成像不清晰，檢測精度較低。

實用新型內容

本實用新型針對上述問題，提出一種利用半透半反鏡片成像的光束檢測儀。具體如下：

包括：CCD模塊、聚焦鏡頭，沿光線傳播方向依次設置半透半反鏡片、光屏，半透半反鏡片的平面與光線呈45度放置，光屏的平面與光束垂直，其一端與半透半反鏡片的一端相接；光線透過半透半反鏡片照射到光屏上，經過光屏的反射后，再經過半透半反鏡片反射，由聚焦鏡頭將光線會聚到CCD模塊上。

進一步地，光屏上帶有分劃刻度。

進一步地，CCD模塊內部具有與CCD芯片，光線會聚到CCD芯片上。

進一步地，CCD模塊上具有一CCD輸出接口。

進一步地，還包括數據線、數據處理器、顯示器；CCD輸出接口將CCD模塊中的光線信號經過數據線，輸出至數據處理器運算，運算的結果和采集的圖像信息顯示到顯示器上。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型提出的利用半透半反鏡片的檢測儀提高了成像清晰度，提高檢測精度。

附圖說明

圖1是現有技術中的光束檢測儀結構示意圖。

圖2是本實用新型的光束檢測儀結構示意圖。

圖3是本實用新型的光束檢測儀中光屏8的俯視圖。

具體實施方式

如圖2所示，該光束檢測儀0包括：半透半反鏡片2、CCD模塊3、聚焦鏡頭4、光屏8。CCD模塊3中具有一CCD芯片。半透半反鏡片2的平面與光線方向呈45度夾角，光線1透過半透半反鏡片2照射到光屏8上，經過光屏8的反射后，光線5經過半透半反鏡片2反射，由聚焦鏡頭4將光線會聚到CCD芯片7上。

光屏8是一個帶有分劃刻度13的漫反射板（如圖3所示，12是光斑），反射到CCD芯片7上的光線中攜帶了分劃刻度和光束兩部分的信息，該信息經過CCD模塊3內部運算后經由CCD輸出接口6和數據線11進入數據處理器10做進一步分析運算，并將計算的結果和采集的圖像信息顯示到顯示器9上。

由于在光屏8上帶有分劃刻度，可以不經過處理器的運算計算即可人工判斷光束的位置信息。