[實用新型]一種氮化鋁晶體制備爐及其保溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220721702.5
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN203049088U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐永亮;施海斌;張國華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/40
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，包括：

用于套設(shè)在加熱器外側(cè)的保溫筒（4）；

設(shè)置在坩堝底端的底部保溫屏（5）；和

設(shè)置在所述坩堝頂端的頂部保溫屏（1）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，還包括套設(shè)在所述保溫筒（4）外側(cè)的側(cè)面保溫屏（3）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在爐底盤頂端的鋯盤（7），所述底部保溫屏（5）和所述側(cè)面保溫屏（3）均設(shè)置在所述鋯盤（7）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，還包括具有水冷裝置的法蘭（2），且所述頂部保溫屏（1）設(shè)置在所述法蘭（2）上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，所述頂部保溫屏（1）包括第一保溫層和套設(shè)在所述第一保溫層外側(cè)的第二保溫層；所述第一保溫層由依次套設(shè)連接的多層第一保溫片構(gòu)成，所述第二保溫層由依次套設(shè)連接的多層第二保溫片構(gòu)成，所述第一保溫片和所述第二保溫片的中心軸線均重合；

所述底部保溫屏（5）包括第三保溫層和套設(shè)在所述第三保溫層外側(cè)的第四保溫層；所述第三保溫層由依次套設(shè)連接的多層第三保溫片構(gòu)成，所述第四保溫層由依次套設(shè)連接的多層第四保溫片構(gòu)成，所述第三保溫片和所述第四保溫片的中心軸線均重合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，所述第一保溫片和所述第三保溫片均為鎢片，相鄰的兩層所述鎢片之間設(shè)有第一間隔；所述第二保溫片和所述第四保溫片均為鉬片，相鄰的兩層所述鉬片之間設(shè)有第二間隔；所述第一間隔和所述第二間隔均為3mm-10mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，所述頂部保溫屏（1）和所述底部保溫屏（5）上分別設(shè)置有測溫孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，所述保溫筒（4）的中心軸線與所述坩堝的坩堝軸（6）的中心軸線相重合，所述保溫筒（4）的內(nèi)壁與所述底部保溫屏（5）的外壁相配合，且所述保溫筒（4）的壁厚為2mm-20mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，其特征在于，所述保溫筒（4）為整體加工成型的圓柱形鎢筒。

10.一種氮化鋁晶體制備爐，包括保溫裝置，其特征在于，所述保溫裝置為如權(quán)利要求1-9任意一項所述的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置。