[實用新型]一種用于藍寶石晶體爐電極密封的組件

有效

• 申請號: 201220721028.0
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN203034148U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 李楠;黎建明;劉春雷
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研光電新材料有限責任公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/20
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 郭佩蘭

技術領域

本實用新型涉及一種真空設備電極密封，特別是一種用于藍寶石晶體爐電極密封的組件

技術背景

藍寶石晶體爐為高真空設備，在晶體生長過程中，爐內加熱器同過銅電極與爐外供電系統連接，為保證爐內真空度，爐體需要與電極之間進行密封，同時需要保證爐體與電極之間為絕緣狀態。一般電極密封結構采用多道膠木環與橡膠O形圈密封，該結構有以下幾個缺點：

首先膠木部分位于爐內，受爐內高溫烘烤容易變形開裂，導致密封實效，需要定期更換；其次電極密封是通過電極側壁與電極孔內壁之間放置密封圈，密封圈受膠木擠壓變形來實現的，由于過電極側壁與電極孔內壁之間存在O形圈，兩者為彈性接觸，受力后會產生形變，因此不能很好保證電極與爐體的垂直度，以至于影響內部加熱器的放置。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種用于藍寶石晶體爐電極密封的組件，該組件結構簡單，使用方便，采用本組件后，密封面在爐體外不存在高溫問題，因此使用壽命長，不需經常更換，同時能夠保證電極與爐體的垂直度。

為達到上述發明目的，本實用新型采用以下技術方案：

這種用于藍寶石晶體爐電極密封的組件，它包括圓形絕緣板、O形圈、O形圈以及連接螺釘，所述的圓形絕緣板的兩端面分別設有密封槽I，密封槽II，密封槽內分別設有O形圈4、O形圈5，所述的圓形絕緣板兩個端面的外圓尺寸分別與電極的臺面II、爐體的電極孔的臺面臺面I一致，沿絕緣板軸向中心開有供電極插入的圓孔，在其徑向開有至少三個用于連接并固定電極于爐體的通孔，通孔中穿有螺釘，螺釘外圍設有絕緣套以及絕緣墊片。

所述的通孔(13)的數量為3-6個。

所述的圓形絕緣板為橡膠板。

本實用新型的優點是：組件結構簡單，使用方便，且密封面在爐體外不存在高溫問題，因此使用壽命長，不需經常更換，同時能夠保證電極與爐體的垂直度。

附圖說明

圖1：本實用新型安裝使用狀態圖

圖2：電極結構示意圖

圖3：真空爐爐體的電極孔結構示意圖

圖4：本實用新型組件中絕緣板結構示意圖

圖1、圖2、圖3、圖4中，1為電極，2為電極孔，3為圓形絕緣板，4為O形圈，5為O形圈，6為絕緣套，7為絕緣墊片，8為螺釘，9為圓通孔，10為臺面I，11為螺孔，12為圓孔，13為圓孔，14為密封槽I，15為密封槽II，16為臺面II。

具體實施方式

本組件包括：圓形絕緣板3，圓形絕緣板的兩端面分別設有密封槽I??14，密封槽II??15，密封槽內分別設有O形圈4、O形圈5，所述的圓形絕緣板兩個端面的外圓尺寸分別與電極的臺面II、爐體電極孔的臺面I一致，沿絕緣板軸向中心開有供電極插入的圓孔，在其徑向開有至少三個用于連接并固定電極于爐體的通孔，通孔中穿有螺釘，螺釘與電極連接處設有絕緣套以及絕緣墊片。圓形絕緣板兩端面設有密封槽，位置位于孔與孔之間。如圖4所示。

電極和絕緣板通過螺釘與爐體電極孔連接，在密封臺面II?16和密封臺面I之間放置圓形絕緣板。

電極與爐體電極孔保持鉛直。

電極的一端設有沿徑向凸起的密封臺面II，臺面沿徑向開有3個以上對稱圓通孔，其孔數與絕緣板相同，如圖2所示。

爐體電極孔處設有與電極密封臺面II尺寸對應的密封臺面I，密封臺面I對應電極臺面II上孔開螺孔，如圖3所示。