[實(shí)用新型]硅片貼片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220720095.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN202965420U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)海軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興順聯(lián)橡塑機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B32B37/12
• 分類號(hào): B32B37/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片貼片機(jī)，屬于機(jī)械制造領(lǐng)域。

背景技術(shù)

硅片貼片是在硅片加工過程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工裝夾具手工操作工作效率低，貼片速度慢，貼片質(zhì)量不穩(wěn)定，影響產(chǎn)品質(zhì)量及企業(yè)發(fā)展。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，從而提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、貼片效率高，操作簡(jiǎn)便輕松的硅片貼片機(jī)。

本實(shí)用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是：該硅片貼片機(jī)，包括支架、轉(zhuǎn)盤、吸盤、移動(dòng)架、加熱盤、冷卻盤、壓盤、氣缸、安裝臺(tái)，所述支架上依次安裝有轉(zhuǎn)盤、加熱盤及冷卻盤，轉(zhuǎn)盤及加熱盤旁設(shè)有移動(dòng)架，所述吸盤與移動(dòng)架固定安裝，移動(dòng)架可上下左右移動(dòng)吸盤，所述冷卻盤正上方設(shè)有壓盤，壓盤與氣缸固定安裝，氣缸固定安裝在安裝臺(tái)。

本實(shí)用新型所述壓盤上方設(shè)有穩(wěn)定桿，當(dāng)氣缸推動(dòng)壓盤上下移動(dòng)時(shí)，穩(wěn)定桿起到分散受力穩(wěn)定氣缸推動(dòng)的作用。

本實(shí)用新型所述移動(dòng)架包括導(dǎo)軌、滑塊、雙桿氣缸及橫梁，所述導(dǎo)軌與支架固定連接，滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，雙桿氣缸下端與滑塊固定連接，雙桿氣缸上端固定安裝橫梁。

本實(shí)用新型所述吸盤包括下盤和上盤，所述下盤和上盤組合安裝后內(nèi)部成呈中空，下盤設(shè)有吸氣孔，上盤設(shè)有抽氣孔。

本實(shí)用新型所述冷卻盤包括下冷卻盤和上冷卻盤，所述下冷卻盤和上冷卻盤組合安裝后內(nèi)部成呈中空。

本實(shí)用新型所述吸氣孔均勻分布在下盤

本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型可在轉(zhuǎn)盤上放置多個(gè)硅片，每個(gè)硅片都有與之相對(duì)用的吸氣孔，因此運(yùn)動(dòng)一次就完成多個(gè)的貼片任務(wù)，貼片效率高。

2、本實(shí)用新型采用氣缸貼片，精度高，貼片質(zhì)量好。

3、本實(shí)用新型采用采用壓盤壓緊保持，地下設(shè)有冷卻盤采用水冷卻，冷卻效果好，壓緊精度高，質(zhì)量穩(wěn)定。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型所述吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型所述冷卻盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

標(biāo)號(hào)說明：支架1、轉(zhuǎn)盤2、吸盤3、移動(dòng)架4、加熱盤5、冷卻盤6、壓盤7、穩(wěn)定桿8、氣缸9、安裝臺(tái)11、陶瓷盤10、導(dǎo)軌41、滑塊42、雙桿氣缸43、橫梁44、下盤31、上盤32、吸氣孔311，抽氣孔321、下冷卻盤51、上冷卻盤52

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

實(shí)施例：

參見圖1至圖4，本實(shí)施例中的硅片貼片機(jī)，包括支架1、轉(zhuǎn)盤2、吸盤3、移動(dòng)架4、加熱盤5、冷卻盤6、壓盤7、氣缸9、安裝臺(tái)11，所述支架1上依次安裝有轉(zhuǎn)盤2、加熱盤5及冷卻盤6，轉(zhuǎn)盤5及加熱盤5旁設(shè)有移動(dòng)架4，所述吸盤3與移動(dòng)架4固定安裝，移動(dòng)架4可上下左右移動(dòng)吸盤3，所述冷卻盤5正上方設(shè)有壓盤7，壓盤7與氣缸9的推桿固定安裝，氣缸9倒立固定在安裝臺(tái)11。

本實(shí)用新型所述壓盤7上方設(shè)有穩(wěn)定桿8，當(dāng)氣缸9推動(dòng)壓盤7上下移動(dòng)時(shí)，穩(wěn)定桿8起到分散受力穩(wěn)定氣缸9推動(dòng)的作用。

本實(shí)用新型所述所述移動(dòng)架4包括導(dǎo)軌41、滑塊42、雙桿氣缸43及橫梁44，所述導(dǎo)軌41與支架1固定連接，滑塊42與導(dǎo)軌41滑動(dòng)連接，雙桿氣缸43下端與滑塊42固定連接，雙桿氣缸43上端固定安裝橫梁44，橫梁44連接吸盤3，吸盤3可從轉(zhuǎn)盤2處至加熱盤5處來回移動(dòng)。

本實(shí)用新型所述所述吸盤3包括下盤31和上盤32，所述下盤31和上盤31組合安裝后內(nèi)部成呈中空，下盤31均勻設(shè)有多個(gè)吸氣孔311，上盤32設(shè)有抽氣孔321，抽氣孔321采用通氣管與氣泵連通。

本實(shí)用新型所述所述冷卻盤5包括下冷卻盤51和上冷卻盤52，所述下冷卻盤51和上冷卻盤52組合安裝后內(nèi)部成呈中空。

使用時(shí)，首先人工將硅片放置在轉(zhuǎn)盤2的指定位置上，在加熱盤5上放置待粘合的陶瓷盤10，硅片放滿以后開啟硅片貼片機(jī)，氣泵抽氣，吸盤3上的抽氣孔321吸起相對(duì)應(yīng)的硅片，移動(dòng)至加熱盤5上方，陶瓷盤10上人工涂刷膠水后，吸盤3向下移動(dòng)接觸陶瓷盤10后放氣，卸下硅片返回，人工將粘貼有硅片的陶瓷盤10移動(dòng)至冷卻盤5，冷卻盤5內(nèi)中空充有冷卻水，壓盤7下移，壓緊硅片，待冷卻后取出。