[實用新型]一種單晶爐用石墨堝有效
| 申請號: | 201220719967.1 | 申請日: | 2012-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN202968749U | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發明(設計)人: | 白劍銘;孫二凱 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏曉波 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐用 石墨 | ||
技術領域
本實用新型涉及單晶爐技術領域,更具體地說,涉及一種單晶爐用石墨堝。
背景技術
單晶爐是采用直拉法生產單晶硅的主要設備,在單晶爐的內部熱場中,用于生產單晶硅的多晶硅原料盛放于石英堝中,石英堝安置于石墨堝01中,石墨堝01放置在堝托02上,如圖1所示。其中,石墨堝由三瓣堝塊拼接而成。
單晶爐在生產單晶硅的過程中,在熱場中會產生硅蒸汽,且在熱場的高溫環境中,硅蒸汽會與熱場中的石墨堝01和堝托02發生化學反應而在其表面產生雜質,因此,在每次生產完成后,都需要對石墨堝01和堝托02進行打磨而去除其表面的雜質。石墨堝01和堝托02在長期使用的過程中,經過多次的打磨,導致石墨堝01與堝托02配合的接觸面發生變形,使得其原本配合接觸的接觸面之間產生縫隙,且縫隙隨著打磨次數的增加而越來越大,如圖2所示,又由于石墨堝01是由三瓣堝塊拼接而成,所以越來越大的縫隙會導致堝塊在自身重力的作用下而向遠離其他堝塊的方向發生傾斜,使得堝塊的頂部與設置在石墨堝01外側的加熱器的距離減小,進而產生石墨堝01與加熱器之間發生打火的風險,一旦石墨堝01與加熱器之間發生打火事故,會造成加熱器和石墨堝01損壞,甚至造成單晶爐無法正常運行。為防止事故發生,就需要更換石墨堝01或堝托02,而每個石墨堝01為2.9萬元,每個堝托02為0.68萬元,更換部件會大大增加單晶爐的生產成本。
綜上所述,如何減少部件的更換以降低生產成本,是目前本領域技術人員亟待解決的問題。
實用新型內容
有鑒于此,本實用新型提供了一種單晶爐用石墨堝,其避免了堝塊發生傾斜,進而避免了與加熱器之間發生打火事故,保證了單晶爐的正常運行,也無需更換部件,節約了生產成本。
為了達到上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
一種單晶爐用石墨堝,其包括:
能夠拼接成完整石墨堝的多瓣堝塊,多瓣所述堝塊上均設置有第一凹槽和第二凹槽;
設置在不同所述堝塊上相互配合的所述第一凹槽和第二凹槽內以連接任意相鄰的兩瓣所述堝塊的連接件。
優選的,上述單晶爐用石墨堝中,所述第一凹槽和所述第二凹槽均為弧形凹槽。
優選的,上述單晶爐用石墨堝中,所述第一凹槽和所述第二凹槽靠近所述堝塊的頂部邊緣。
優選的,上述單晶爐用石墨堝中,所述第一凹槽和所述第二凹槽的截面形狀均為L形。
優選的,上述單晶爐用石墨堝中,所述第一凹槽和所述第二凹槽均開設在所述堝塊的外側壁上。
優選的,上述單晶爐用石墨堝中,所述連接件為鉬絲。
本實用新型提供的單晶爐用石墨堝中,在每瓣堝塊上均設置有第一凹槽和第二凹槽,其中第一凹槽與相鄰堝塊上的第二凹槽配合,第二凹槽與另一相鄰的堝塊上的第一凹槽配合,連接件設置在第一凹槽和第二凹槽配合形成的較大的凹槽中以將兩個相鄰的堝塊連接為一體。本實用新型提供的單晶爐用石墨堝,在其上設置凹槽,并在凹槽內設置連接件,以將多瓣堝塊連接為一體,避免了堝塊因與堝托存在縫隙而發生傾斜,避免了石墨堝與加熱器之間發生打火的風險,減少了部件的損壞幾率,保證了單晶爐的正常運行,也無需更換部件,節約了生產成本。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為現有技術提供的石墨堝與堝托的配合剖視圖;
圖2為現有技術提供的石墨堝與堝托經過打磨產生縫隙后的結構示意圖;
圖3為本實用新型實施例提供的單晶爐的石墨堝的剖視結構圖;
圖4為本實用新型實施例提供的單晶爐的石墨堝的俯視圖。
以上圖1-圖4中:
石墨堝01、堝托02;
堝塊1、第一凹槽2、第二凹槽3。
具體實施方式
為了進一步理解本實用新型,下面結合實施例對本實用新型優選實施方式進行描述,但是應當理解,這些描述只是為了進一步說明本實用新型的特征和優點,而不是對本實用新型權利要求的限制。
本實用新型提供了一種單晶爐用石墨堝,其避免了堝塊發生傾斜,進而避免了與加熱器之間發生打火事故,保證了單晶爐的正常運行,也無需更換部件,節約了生產成本。
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