[實(shí)用新型]一種四氯化硅制備三氯氫硅的微波等離子體反應(yīng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220719615.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203033774U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎學(xué)明;李曉林;楊文靜;吳友恒;羅彬彬;徐永燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶大學(xué)
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391
• 代理人: 張群峰;郭海彬

1.一種四氯化硅制備三氯氫硅的微波等離子體反應(yīng)裝置，其特征在于，包括：?

一個(gè)帶有加熱裝置的四氯化硅儲(chǔ)罐；?

一個(gè)氫氣儲(chǔ)罐；?

一個(gè)氬氣儲(chǔ)罐；?

一個(gè)具有保溫功能的混合氣體儲(chǔ)罐，與四氯化硅儲(chǔ)罐和氫氣儲(chǔ)罐相連；?

一個(gè)微波等離子體反應(yīng)器，該反應(yīng)器通過(guò)裝有計(jì)量閥門的管道分別與混合氣體儲(chǔ)罐和氬氣儲(chǔ)罐相連；?

一臺(tái)微波等離子發(fā)生器，通過(guò)微波匹配器與微波等離子體反應(yīng)器的波導(dǎo)腔相連；?

一個(gè)除塵器，與微波等離子體反應(yīng)器的反應(yīng)腔相連，微波等離子體反應(yīng)腔中的氣體通過(guò)壓力差進(jìn)入除塵器；?

一個(gè)冷凝器，與除塵器相連，除塵器過(guò)濾后氣體靠壓差進(jìn)入冷凝器；?

一個(gè)氣液分離器，與冷凝器相連，冷凝器冷凝得到的液體進(jìn)入氣液分離器；?

一個(gè)氣體分離塔，與冷凝器相連，冷凝器中未冷凝的氣體進(jìn)入氣體分離塔。?

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，微波等離子發(fā)生器頻率為300MHz，產(chǎn)生6000～15000K的等離子體。?

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，微波等離子體反應(yīng)器有兩個(gè)氣體進(jìn)料口，一個(gè)為四氯化硅和氫氣的進(jìn)料口，一個(gè)為氬氣的進(jìn)料口。?

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，微波匹配器通過(guò)耦合作用于波導(dǎo)腔。?