[實用新型]石英坩堝水冷管及具有該水冷管的石英坩堝遮熱板

有效

• 申請號: 201220715527.9
• 申請日: 2012-12-21
• 公開（公告）號: CN202968370U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 婁斌;李宗輝;王璐
• 申請（專利權）人: 圣戈班研發(上海)有限公司;圣戈班石英(錦州)有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種遮熱裝置，特別是涉及一種在石英坩堝熔制過程中的水冷管及具有該水冷管的石英坩堝遮熱板，屬于石英坩堝熔制爐部件技術領域。

背景技術

隨著大規模集成電路集成度的不斷提高，單晶硅也向高純度發展，從而對其在拉制過程中輔助性容器——石英坩堝的要求也越來越高。

目前的石英坩堝大部分是采用電弧法來熔制，在熔制過程中通過電極放電產生高溫電弧來熔化石英砂，電弧焰的高溫會對石英坩堝熔制設備的其他部件產生副作用，因此需在模具上方需要加裝遮熱裝置。

遮熱裝置采用的多為內部中空結構，內部通有循環冷卻水，金屬材質。其中的遮熱板由金屬架、不透明石英板和石英布組成。具體而言，遮熱板外圍由金屬架支撐，遮熱板中間由兩層半圓型的不透明石英板組合而成，其余部分由方型石英板構成，金屬架由石英布包裹著，防止其氧化。

目前的遮熱板及遮熱裝置存在以下缺陷：

1)熔制過程中石英板容易反應生成一層附著物。

2)金屬部位容易裸露在弧光之下會不斷氧化，在熔制過程中氧化物會掉落正在熔制的坩堝中，從而影響坩堝的品質和使用效果。同時還會造成漏點、打火，焊點脫落，影響坩堝生產。

3)由于金屬架內有循環水，焊點脫落還將導致金屬架漏水，水會直接掉落至坩堝內，影響坩堝質量，甚至造成生產事故。

4)石英布要頻繁更換，而且在電弧高溫下易氧化。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種石英坩堝水冷管及具有該水冷管的石英坩堝遮熱板，以解決目前坩堝生產過程中由遮熱板引起的氧化物脫落、漏水導致坩堝品質不佳，影響坩堝生產的技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種石英坩堝水冷管，包括：中空的半透明石英玻璃管；以及穿設在所述半透明石英玻璃管內的不銹鋼串水管。

一種石英坩堝遮熱板，包括：不銹鋼支架；固定在所述不銹鋼支架上的第一組水冷管；固定在所述不銹鋼支架上的第二組水冷管，與所述第一組水冷管之間留有空間；所述水冷管包括中空的石英玻璃管，以及穿設在所述石英玻璃管內的不銹鋼串水管。

所述不銹鋼串水管包括進水口和出水口；所述進水口和出水口設在該不銹鋼串水管的同一端。

所述不銹鋼串水管包括進水口和出水口；所述進水口設在該不銹鋼串水管的一端，所述出水口設在該不銹鋼串水管的靠近所述端的側壁上。

所述不銹鋼串水管包括進水口和出水口；所述出水口設在該不銹鋼串水管的一端，所述進水口設在該不銹鋼串水管的靠近所述端的側壁上。

所述空間位置設有水套。

所述水冷管的兩端固定在所述不銹鋼支架上。采用本實用新型的石英坩堝水冷管及具有該水冷管的石英坩堝遮熱板，采用石英玻璃管作為遮熱主體，熱膨脹系數低，不易氧化，熱穩定性好；整體上結構簡單，易安裝，冷卻效果好；同時熱量不易散失，使得遮熱效果改善；且脫落的附著物明顯減少。

附圖說明

在下文中將參照以下附圖僅通過例子更具體地描述本實用新型的優選實施例：

圖1是根據本實用新型的一個實施例的石英坩堝遮熱板的結構示意圖；

圖2是圖1的石英坩堝遮熱板中的水冷管的一種實施方式的結構示意圖；

圖3是圖2的水冷管中的不銹鋼串水管的一種實施方式的結構示意圖。

在上述的各附圖中，相似的附圖標記應被理解為表示相同、相似或者相應的特征或功能。

具體實施方式

在以下優選的實施例的具體描述中，將參考構成本實用新型一部分的所附的附圖。所附的附圖通過示例的方式示出了能夠實現本實用新型的特定的實施例。示例的實施例并不旨在窮盡根據本實用新型的所有實施例。可以理解，在不偏離本實用新型的范圍的前提下，可以利用其他實施例，也可以進行結構性或者邏輯性的修改。因此，以下的具體描述并非限制性的，且本實用新型的范圍由所附的權利要求所限定。

在以下的具體描述中，參考了所附的附圖。附圖構成了本實用新型的一部分，在附圖中通過示例的方式示出了能夠實施本實用新型的特定的實施例。就這一點而言，方向性的術語，例如“左”、“右”“頂部”、“底部”、“前”、“后”等，參考附圖中描述的方向使用。因此本實用新型的實施例的部件可被置于多種不同的方向，方向性的術語是用于示例的目的而非限制性的。可以理解，在不偏離本實用新型的范圍的前提下，可以利用其他實施例，也可以進行結構性或者邏輯性修改。因此，以下的具體描述并非限制性的，且本實用新型的范圍由所附的權利要求所限定。