[實用新型]一種自測量壓電疊堆泵有效
| 申請號： | 201220715293.8 | 申請日： | 2012-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN202946352U | 公開（公告）日： | 2013-05-22 |
| 發明（設計）人： | 馬澤輝;闞君武;張忠華;溫建明;馬繼杰;程光明 | 申請（專利權）人： | 浙江師范大學 |
| 主分類號： | F04B43/04 | 分類號： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 321004 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 壓電 疊堆泵 | ||
【權利要求書】：
1.一種自測量壓電疊堆泵，其特征在于：閥蓋通過螺釘安裝在泵蓋上，所述泵蓋通過螺釘安裝在泵體上；在所述閥蓋和泵蓋之間粘接有懸臂梁型出口閥和進口閥，所述出口閥及進口閥均由壓電薄膜和基板粘接而成；在所述泵蓋和泵體之間壓接有泵腔隔膜，在所述泵腔隔膜的兩側通過螺釘分別安裝有活塞和頂塊；活塞以及安裝于所述活塞上的密封圈、泵蓋、出口閥及進口閥共同構成泵腔；安裝在泵體端部的螺栓通過防扭擋塊將壓電疊堆驅動器壓接在所述頂塊上；所述壓電疊堆驅動器、出口閥及進口閥分別通過導線組一、導線組二及導線組三與電控單元相連。
2.根據權利要求1所述一種自測量壓電疊堆泵，其特征還在于：可采用出口閥或進口閥的輸出電壓表征壓電泵輸出壓力和流量，即有：
其中：a＝1-hp/h，b＝Em/Ep，h、L分別為壓電懸臂梁的總厚度和長度，hp為壓電晶片厚度，g31是壓電電壓常數，Ep和Em分別是壓電材料和金屬基板的楊氏模量，lp和lq分別為壓力和流量的標定系數，f為驅動電壓頻率，Vg為出口閥或進口閥的輸出電壓。
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