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[實用新型]一種硅塊的線鋸切割機有效

專利信息
申請號: 201220714915.5 申請日: 2012-12-21
公開(公告)號: CN202964939U 公開(公告)日: 2013-06-05
發明(設計)人: 蘇蘭虎;張凱;王康;馬帥;劉少輝;王凱;王世明 申請(專利權)人: 天津英利新能源有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 魏曉波
地址: 301510 天津市濱海新區津漢公*** 國省代碼: 天津;12
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 切割機
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及線鋸切割技術領域,特別是涉及一種用于硅塊切割的線鋸切割機。

背景技術

硅塊是在多晶硅錠加工成硅片的過程中產生的一種中間產品,經過線切割后成為硅片。現有技術中一般采用NTC線鋸切割機作為硅塊的切割設備。NTC線鋸切割機為多線切割設備,通過鋼線高速轉動,帶動漿料里的SiC(碳化硅,又名金剛砂)對下降的硅塊進行切割。

進行切割時,首先將硅塊粘結在玻璃板上,然后將粘結有玻璃板的硅塊整體粘結在晶托上,晶托設有專門的粘結板,粘結板與玻璃板相互粘合,則晶托將硅塊承托固定,由硅塊、玻璃板和晶托粘合形成的整體構成切割用的晶棒;線鋸切割機的切割室內設有導輪,導輪上纏繞有鋼線,多條鋼線密布形成線網,以便對硅塊進行切割;導輪的表面涂有一層聚氨酯,該層聚氨酯一般稱為導輪涂層,以防止鋼線對導輪造成損傷;由于在長期加工過程中,導輪涂層會出現磨損,因此就需要對導輪進行及時的更換,為此,線鋸切割機還設有導輪導軌;在切割室的兩側設有漿料支架和安裝在漿料支架上的漿料嘴,漿料嘴將砂漿以砂簾的形式均勻的噴灑在線網中,進而通過鋼線對硅塊進行切割。切割過程中產生的碎屑則通過硅塊下方的廢料盒予以收集,避免碎屑落入線網中影響切割的質量。

經過上述切割后,去掉硅塊含有雜質的頂部和底部,就構成其能夠產生合格品的部分,該部分稱為硅塊的有效切割長度。

雖然現有的切割技術已經比較成熟,但是,現有線鋸切割機的切割長度并不能滿足現有市場的需求,主要存在以下問題:

隨著行業的發展,硅塊的有效切割長度已經達到了320mm,而硅塊的總長度為375mm,這種長度的硅塊要在機床上進行切割,必須采用專用機器在硅塊的兩端進行預切割,也就是俗稱的去除硅塊的頭尾,使得硅塊的長度達到320mm,以便硅塊能夠順利進入切割室內完成切割。

而上述步驟的增加不僅產生了購置專用機器的額外費用,也大大降低了硅塊切割的整體效率,對生產造成了較大影響。

因此,如何設計一種硅塊的線鋸切割機,以實現較大尺寸硅塊的直接切割、提高硅塊切割的效率,是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅塊的線鋸切割機,能夠實現大尺寸硅塊的直接切割,其切割效率較高、成本較低。

為解決上述技術問題,本實用新型提供一種硅塊的線鋸切割機,所述線鋸切割機包括漿料嘴支架和用于對硅塊切割用鋼線噴灑漿料的漿料嘴,所述漿料嘴以其固定部與所述漿料嘴支架相連,所述漿料嘴支架還設有用于容納所述固定部的凹槽。

本實用新型的線鋸切割機,在漿料嘴支架上開設凹槽,以便將漿料嘴的固定部完全容納在所述凹槽內,避免固定部占用線鋸切割室的內部空間,從而擴展了切割室的有效利用空間,使得大尺寸的硅塊能夠直接放置在切割室內進行切割,而無需對硅塊進行去除頭尾的預切割加工;由于加工過程中去除了預切割的工序,則加工成本得以降低,硅塊切割的效率也有較大提高,還降低了硅塊在加工過程中的損害風險。

優選地,所述線鋸切割機還包括用于纏繞硅塊切割用鋼線的導輪以及支撐所述導輪的導軌,所述導軌的中間設有用于容納廢料盒的導軌槽。

在切割大尺寸的硅塊時,由于硅塊占據了整個切割室的空間,為完全將硅塊切割產生的碎屑收集,需要增大廢料盒的尺寸,增大的廢料盒應該至少與硅塊所覆蓋的面積相等,此時廢料盒的一端就會與導軌發生抵觸,導軌槽的設置使得廢料盒能夠放置在切割室內,并能夠完全收集切割過程中的碎屑,避免碎屑影響硅塊切割的質量。

優選地,所述導軌還設有供所述導輪滑動的滑軌,所述滑軌可拆卸地連接在所述導軌槽內。

切割用的鋼線會對導輪造成損傷,因此需要及時更換導輪,為方便導輪的更換,可以設置滑軌,使得導輪在滑軌上滑動,以簡化導輪更換的過程;當更換完導輪之后,還可以將滑軌拆卸,然后將廢料盒放置在兩導軌之間的導輪槽內,繼續進行硅塊切割。

優選地,所述導軌槽的兩端設有卡部,所述滑軌卡接在所述卡部上。上述可拆卸地連接可以是卡接的連接方式,將滑軌直接卡固在導軌槽內,而在較小的外力扳動下即可實現滑軌的拆除,其安裝和拆卸更加省時省力。

優選地,所述線鋸切割機還包括用于承載硅塊的晶托。

優選地,所述晶托設有朝向其頂面折彎設置的把手。將把手設置成折彎件,可以留出足夠的握持空間,以便操作者握持把手搬動晶托,進而實現硅塊的移動。

附圖說明

圖1為本實用新型所提供線鋸切割機一種設置方式的正面結構側視圖;

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