[實用新型]一種薄膜沉積設備腔體冷卻水加熱裝置有效
| 申請號： | 201220714836.4 | 申請日： | 2012-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN203112917U | 公開（公告）日： | 2013-08-07 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/00 | 分類號： | C23C14/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 沉積 設備 冷卻水 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜沉積設備腔體冷卻水加熱裝置，其包括儲水槽、供水管路、水幫浦所組成。
2.根據權利要求1所述之一種薄膜沉積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特征在于,儲水槽設有接溫度計及液位傳感器及排水管，儲水槽為不銹鋼材質。
3.根據權利要求1所述之一種薄膜沉積設備腔體冷卻水加熱裝置，其特征在于,冷卻水入口管路設有水路電磁閥。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于吉富新能源科技(上海)有限公司，未經吉富新能源科技(上海)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220714836.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
