[實(shí)用新型]一種濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220714833.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN203112921U
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于一種濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，具體涉及鍍膜后腔壁清潔，以維持真空環(huán)境下鍍膜品質(zhì)。?

背景技術(shù)

現(xiàn)有濺鍍?cè)O(shè)備的鍍膜腔室為防止濺鍍?cè)赐瑫r(shí)濺鍍到腔壁上皆采取安裝防鍍遮板來達(dá)到目的，且皆以螺絲固定方式鎖固在腔壁上，此舉雖可固定牢靠，但對(duì)于后續(xù)維護(hù)防鍍遮板造成相當(dāng)?shù)牟槐憷翩i固螺絲數(shù)量多，會(huì)花費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間在于螺絲的拆卸上。?

實(shí)用新型內(nèi)容

綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置。?

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：?

一種濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，包括兩個(gè)遮板本體、密接邊及下端折邊所構(gòu)成，其中一個(gè)遮板本體設(shè)有階梯狀的密接邊且高于另一個(gè)遮板邊緣3mm的高度，使兩個(gè)遮板可接合無間隙，同時(shí)遮板本體下端設(shè)有折邊，使遮板本體可放至于腔壁上無需任何螺絲固定，同時(shí)為增加遮板本體強(qiáng)度，在其內(nèi)部設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)片，增加橫向強(qiáng)度。

????本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述之防鍍遮板以拼接方式密合，無需螺絲鎖固。?

?????本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)：無需螺絲鎖固，維修保養(yǎng)方便，節(jié)省保養(yǎng)時(shí)間。?

附圖說明

圖1系為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2系為本實(shí)用新型側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。?

主要組件符號(hào)說明?

11．．．遮板本體

12．．．密接邊

13．．．下端折邊

14．．．遮板本體

21．．．?補(bǔ)強(qiáng)板

具體實(shí)施方式

????下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。?

請(qǐng)參閱圖1所示，一種濺鍍腔室腔壁防鍍遮板裝置，其包括遮板本體11及14、密接邊12、下端折邊13組成，遮板本體11、14，一個(gè)遮板本體11設(shè)有階梯狀的密接邊12且高于另一個(gè)遮板邊緣3mm的高度，可將兩個(gè)遮板本體接合且無任何間隙，同時(shí)設(shè)有下端遮板13，可將遮板本體11、14放置在腔壁上，如此可防止濺鍍?cè)礊R鍍?cè)谇槐谏稀Ｕ?qǐng)參閱圖2所示，遮板內(nèi)部設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)板21可加強(qiáng)橫向強(qiáng)度，使遮板不至于變形，整體防鍍遮板無需螺絲鎖固，維修保養(yǎng)方便，節(jié)省保養(yǎng)時(shí)間。?

????以上所述實(shí)例是對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本實(shí)用新型技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。?