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[實用新型]一種坩堝熔煉爐有效

專利信息
申請號: 201220710547.7 申請日: 2012-11-27
公開(公告)號: CN203011136U 公開(公告)日: 2013-06-19
發明(設計)人: 王文慶;王定永 申請(專利權)人: 寧波寶斯達坩堝保溫制品有限公司
主分類號: F27B14/08 分類號: F27B14/08
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 315480 浙江省余*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 坩堝 熔煉爐
【說明書】:

技術領域

實用新型為一種煉爐,特別涉及一種坩堝熔煉爐,屬于坩堝爐技術領域。?

背景技術

在制作坩堝過程中,石墨電極在高溫熔煉過程中,容易掉渣,直接影響制作坩堝的質量,為此,在坩堝熔煉爐一側設置有導氣管,把石墨渣吹向一邊、坩堝熔煉爐外。但傳統使用的導氣管結構過于簡單,吹渣效果不甚理想,且大多由橡膠、銅等材料所制成,存在質量過重或阻燃性、耐腐蝕性差等缺陷,使用壽命短。大多國內高端半導體需求企業往往會依賴于國外進口石英導氣管,但是進口產品存在數量限制、價格高、交貨期長等不利因素,對企業日常生產帶來了極大不便。?

實用新型內容

本實用新型的目的是針對上述現有技術中,導氣管結構簡單、吹渣效果差,質量過重或阻燃性、耐腐蝕性差,及價格高等缺陷,提供了一種坩堝熔煉爐,可以達到導氣管吹渣效果好、質量輕、耐腐蝕和價格便宜的目的。?

為了實現上述目的本實用新型采取的技術方案是:一種坩堝熔煉爐,包括爐體、爐蓋、石墨電極和導氣管,所述導氣管設置在坩堝熔煉爐一側,導氣管后端與坩堝熔煉爐一側的排架固定連接,導氣管前端在爐蓋上方、向下斜向設置;所述導氣管包括后部主導氣管和前部叉形導氣分管,所述叉形導氣分管呈U形,叉形導氣分管的U形底部與主導氣管相通,叉形導氣分管與主導氣管為一體結構;叉形導氣分管和主導氣管的直徑相等,均為5-7mm;所述主導氣管長為15-25cm,叉形導氣分管的2根分支管長度相等,為10-20cm,叉形導氣分管的2根分支管之間的距離為8-12cm;叉形導氣分管設置在爐蓋上方,叉形導氣分管的管口對向石墨電極。?

所述叉形導氣分管的2根分支管關于主導氣管軸線對稱設置;叉形導氣分管的2根分支管的管口呈橢圓形。?

所述主導氣管和叉形導氣分管的直徑為6mm;所述主導氣管長為20cm,叉形導氣分管的2根分支管的長度相等,為15cm、叉形導氣分管的2根分支管之間的距離為10cm。?

所述導氣管與水平方向的夾角為10°。?

所述主導氣管和叉形導氣分管的材質均為石英玻璃。?

與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:?

(1)吹風口由1個變為2個,且叉形導氣分管的2根分支管的管口呈橢圓形,使吹風更均勻、效果更好;?

(2)石英玻璃材質的導氣管質量輕、耐腐蝕、耐高溫,使用壽命長;?

(3)材質均為石英玻璃的導氣管技術填補國內技術空白,價格便宜,降低了國內半導體材料生產廠家的成本,提高了產品的國際競爭力。?

附圖說明

圖1-1是:導氣管主視圖;?

圖1-2是:導氣管俯視圖;?

圖2是:本實用新型工作狀態圖;?

附圖標記說明:1爐體、2爐蓋、3石墨電極、4導氣管、41主導氣管、42叉形導氣分管、421管口。?

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明,但不作為對本實用新型的限定。?

如圖1-1至圖2所示,一種坩堝熔煉爐,包括爐體1、爐蓋2、石墨電極3和導氣管4,所述導氣管4設置在坩堝熔煉爐一側,導氣管4后端與坩堝熔煉爐一側的排架(圖中未顯示)固定連接,導氣管4前端在爐蓋2上方、向下斜向設置;所述導氣管4包括后部主導氣管41和前部叉形導氣分管42,所述叉形導氣分管42呈U形,叉形導氣分管42的U形底部與主導氣管41相通,叉形導氣分管42與主導氣管41為一體結構;叉形導氣分管42和主導氣管41的直徑相等,均為6mm;所述主導氣管41長為20cm,叉形導氣分管42的2根分支管長度相等,為15cm,叉形導氣分管42的2根分支管之間的距離為10cm;叉形導氣分管42設置在爐蓋2上方,叉形導氣分管42的管口421對向石墨電極3。?

所述叉形導氣分管42的2根分支管關于主導氣管41軸線對稱設置;叉形導氣分管42的2根分支管的管口421呈橢圓形。?

所述導氣管4與水平方向的夾角α為10°。?

所述主導氣管41和叉形導氣分管42的材質均為石英玻璃。?

以上所述的實施例,只是本實用新型較優選的具體實施方式的一種,本領域的技術人員在本實用新型技術方案范圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保護范圍內。?

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