[實用新型]一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭

有效

• 申請號: 201220709762.5
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN202974174U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 雷李華;蔡瀟雨;李源;吳俊杰;傅云霞;耿鋒;翁浚婧
• 申請（專利權）人: 上海市計量測試技術研究院
• 主分類號: G01B7/00
• 分類號: G01B7/00;B81B7/04
• 代理公司: 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113
• 代理人: 陳志良

1.一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，所述的測頭由方形底板、電容傳感器陣列、十字梁和測針組成，其特征在于：所述的測頭有多個電容傳感單元，呈陣列式分布于方形底板上，測針連接在十字梁的中心連接體上，十字梁的懸臂與電容傳感器上極板相連，上極板通過微彈簧懸掛單元懸掛，所述上極板的懸掛采用若干個微彈簧實現，微彈簧不僅用于固定電容傳感器的上極板，還用于支撐十字梁和測針重量，由測針及十字梁組成的杠桿結構將被測物的橫向位移放大并轉化為電容上極板的軸向位移，解決單個電容傳感器測量時橫向分辨力低的問題。

2.根據權利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：所述上極板的懸掛采用4個微彈簧實現。

3.根據權利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：采用4個電容傳感器組成圓周陣列作為敏感單元，同一方向上的兩個電容傳感器連接成差動方式，提高測頭靈敏度和抗干擾能力。

4.根據權利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：所述的測頭有兩種裝配方式，根據不同的測量場合選擇支撐型或懸掛型裝配方式。