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[實用新型]一種光子晶體定向耦合器有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220708315.8 申請日: 2012-12-20
公開(公告)號: CN203191576U 公開(公告)日: 2013-09-11
發(fā)明(設(shè)計)人: 崔乃迪;郭進(jìn);馮俊波;滕婕;王皖君;周杰;曹國威 申請(專利權(quán))人: 中國電子科技集團公司第三十八研究所;合肥公共安全技術(shù)研究院
主分類號: G02B6/122 分類號: G02B6/122
代理公司: 安徽匯樸律師事務(wù)所 34116 代理人: 方榮肖
地址: 230031 安徽省合*** 國省代碼: 安徽;34
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 光子 晶體 定向耦合器
【權(quán)利要求書】:

1.一種光子晶體定向耦合器,其包括基板以及垂直設(shè)置在該基板上的若干介質(zhì)柱,該若干介質(zhì)柱圍出兩個相互獨立的主波導(dǎo)線缺陷(9)與耦合波導(dǎo)線缺陷(10),主波導(dǎo)線缺陷(9)與耦合波導(dǎo)線缺陷(10)之間間隔有至少一排介質(zhì)柱,其特征在于,該排介質(zhì)柱均為跑道型介質(zhì)柱(7),其余介質(zhì)柱均為圓柱型介質(zhì)柱(2)。

2.如權(quán)利要求1所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:位于該排介質(zhì)柱一側(cè)的介質(zhì)柱區(qū)域為主波導(dǎo)部分(8),位于該排介質(zhì)柱相對一側(cè)的介質(zhì)柱區(qū)域為直角轉(zhuǎn)彎耦合波導(dǎo)部分(5),主波導(dǎo)部分(8)、直角轉(zhuǎn)彎耦合波導(dǎo)部分(5)以及它們之間的這排跑道型介質(zhì)柱(7)構(gòu)成光子晶體定向耦合器的主體結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:主波導(dǎo)部分(8)為W1型光子晶體直波導(dǎo)。

4.如權(quán)利要求2所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:直角轉(zhuǎn)彎耦合波導(dǎo)部分(5)為W1型直角轉(zhuǎn)彎波導(dǎo)。

5.如權(quán)利要求2所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:圓柱型介質(zhì)柱(2)高度為h1、半徑為r,該跑道型介質(zhì)柱(7)的高度為h1,該跑道型介質(zhì)柱(7)的橫截面上垂直于主波導(dǎo)部分(8)走向方向上的拉伸長度為t,該跑道型介質(zhì)柱(7)的跑道半徑為r1,其中t大于零,r1大于或小于r。

6.如權(quán)利要求1所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:該基板包括二氧化硅埋層(3)以及硅襯底層(4),圓柱型介質(zhì)柱(2)與跑道型介質(zhì)柱(7)均設(shè)置在該二氧化硅埋層(3)上,二氧化硅埋層(3)位于硅襯底層(4)上。

7.如權(quán)利要求1所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:該基板包括頂硅層、二氧化硅埋層和硅襯底層,圓柱型介質(zhì)柱與跑道型介質(zhì)柱形成于該頂硅層上而與該頂硅層為一體結(jié)構(gòu),該頂硅層位于二氧化硅埋層上,二氧化硅埋層位于硅襯底層上。?

8.如權(quán)利要求6所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:二氧化硅埋層(3)的厚度為3μm,跑道型介質(zhì)柱(7)的高度為220nm,硅襯底層(4)的厚度為600μm。

9.如權(quán)利要求1所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:耦合波導(dǎo)線缺陷(10)包括水平部分以及與該水平部分垂直的垂直部分,主波導(dǎo)線缺陷(9)呈“一”字形且平行于該水平部分,主波導(dǎo)線缺陷(9)與水平部分之間間隔有一排介質(zhì)柱,該排介質(zhì)柱平行于主波導(dǎo)線缺陷(9)以及耦合波導(dǎo)線缺陷(10)的水平部分,該排介質(zhì)柱的長度與該水平部分的長度相同。

10.如權(quán)利要求1所述的光子晶體定向耦合器,其特征在于:該若干介質(zhì)柱呈陣列式排列。?

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