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[實用新型]帶匹配狀態指示的手動匹配器有效

專利信息
申請號: 201220700228.8 申請日: 2012-12-18
公開(公告)號: CN202978849U 公開(公告)日: 2013-06-05
發明(設計)人: 李樹瑜 申請(專利權)人: 北京吉兆源科技有限公司
主分類號: H03H7/38 分類號: H03H7/38
代理公司: 北京科興園專利事務所 11233 代理人: 王蘊;唐根清
地址: 100094 北京市海淀*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 匹配 狀態 指示 手動 配器
【說明書】:

技術領域

本實用新型屬于電子儀器設備領域,特別涉及到一種帶匹配狀態指示的手動匹配器。

背景技術

現在市場上賣的手動匹配器,在調節匹配時,需要通過功率表監測狀態,即通過顯示入射功率和反射功率反映匹配狀態。其缺點是顯示精度低,匹配器電容變化微小時,入射功率和反射功率指示值因變化太小,指示數據看不到變化,不容易迅速準確找到匹配點。因此,造成高功率時調節匹配耗費時間過長,容易損壞射頻電源或負載。本發明創造就是從已有手動匹配器上加入匹配狀態的指示入手,將匹配器輸出通過取樣分壓等得到匹配電壓,反映匹配器匹配狀態.通過外接顯示表或自帶顯示表頭顯示匹配狀態.調節匹配時可以通過觀察匹配狀態的指數,迅速找到匹配點或點火點(氣體電離的最佳匹配位置)。

發明內容

本實用新型需要解決的技術問題是,針對現有技術中手動匹配器的顯示精度低,不容易迅速準確找到匹配點等缺陷,為了克服這些不足之處,就需要重新設計一種帶有明顯指示的器件。

本實用新型的目的是提供一種帶匹配狀態指示的手動匹配器,為了實現本實用新型的目的,所采用的技術方案如下:一種帶匹配狀態指示的手動匹配器,包含一個整體機箱,機箱前側設有帶顯示的屏板,其特征在于,機箱內部設有匹配網絡,它連接著偏壓取樣電路和匹配狀態采集板,機箱后側面板包括射頻輸入和射頻輸出接口。所述機箱內的匹配網絡,是由兩個在空氣或真空中可調的電容Ca、Cb和匹配電感組成。所述偏壓取樣,是由電阻分壓得到匹配器輸出的偏壓信號,再輸入到偏壓顯示表顯示偏壓值。所述匹配狀態采集板,是由采集匹配器輸出的信號,經電阻電容分壓得到匹配器輸出和匹配器狀態信號,送到前面板經轉換開關顯示。

本實用新型的有益效果是,匹配器顯示精度高,即使匹配器微小的變化都可以通過數據顯示出來,更加準確顯示匹配器輸出特性和利于氣體電離的狀態。從而能夠更加準確地找到匹配點和點火點,縮短匹配時間。減少射頻電源在高反射狀態下的工作時間,有利于延長射頻電源和匹配器的壽命。本匹配器改變以往單一通過入射功率和反射功率比較方式判斷匹配狀況,改變為通過匹配狀態參數和入射功率反射功率結合的方式判斷匹配狀況,提高匹配的精度和匹配速度,縮短射頻電源處于高反射的工作時間。

附圖說明

圖1為本實用新型整體機箱結構外觀圖;

圖2為機箱內部電氣布局;

圖3為電路板工作原理圖。

具體實施方式

參照圖1,為本實用新型整體機箱結構外觀圖,圖中1為整體機箱,其頂部設有散熱孔1.1,前部設有機箱面板1.2,面板上有顯示偏壓的指示信號顯示板和電容調節開關。

參照圖2、圖3,表示機箱內部電氣布局和電路工作原理圖,其中電路板2上設置有在空氣或真空中可調節的電容器Ca、Cb和匹配電感L。射頻輸入端為RF-IN,輸出端為RF-OUT。

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