[實用新型]一種耐高溫橡膠吸嘴有效
| 申請號： | 201220697732.7 | 申請日： | 2012-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN203013699U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 奚耀鑫 | 申請（專利權）人： | 頎中科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 楊林潔 |
| 地址： | 215021 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 耐高溫 橡膠 | ||
【權利要求書】：
1.一種耐高溫橡膠吸嘴，其特征在于：所述橡膠吸嘴表面具有顆粒狀凸起，且所述橡膠吸嘴設有凹槽和真空孔相連。
2.如權利要求1所述耐高溫橡膠吸嘴，其特征在于，所述凹槽設于所述橡膠吸嘴中心，所述顆粒狀凸起位于所述橡膠吸嘴邊緣。
3.如權利要求2所述的耐高溫橡膠吸嘴，其特征在于，所述橡膠吸嘴為長方形。
4.如權利要求3所述的耐高溫橡膠吸嘴，其特征在于，所述真空孔為圓孔或方孔。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的耐高溫橡膠吸嘴，其特征在于，所述真空孔數量為多個。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
